中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9144929 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 （AMAT）エッチャー/アッシャーは、受動層、誘電体、金属材料の蒸着、ウェーハ洗浄、エッチングに最適な、汎用性の高い信頼性の高いエッチングおよびアッシング機器です。AMAT 8110は、高効率で低温のプラズマ源を備えており、制御および反復可能なエッチング処理を可能にします。APPLIED MATERIALS 8110は、効率的でバランスの取れた反応性イオンビーム/ガスフロー機能により、エッチングプロセスパラメータとチャンバー条件を優れた制御を提供します。そのシンプルなユーザーインターフェイスと非常に効率的な操作により、経験の少ないオペレータでも8110を使用することが可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS 8110は、高速エッチング、高選択性エッチング、金属、誘電体、パッシベーション層のドライクリーニングも可能です。AMAT 8110のエッチングおよびアッシュ基板は、優れた加工均一性とウェーハ表面品質を有しています。均一性は、バランスの取れた3ゾーンエッチング処理によって達成されます。APPLIED MATERIALS 8110は、高感度の現場エンドポイント検出を備えており、エッチング速度と下流の汚染を過剰なエッチングから監視します。また、エッチングプロセスを正確に終了できるエッチストップ機能も備えています。8110のプラズマ源はまた、エッチング率と温度分布の均一性を提供し、大規模な生産ラインに適しています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS 8110は、エッチングガスの迅速なセットアップとチューニングにより、非常に高速なプロセスサイクル時間を実現します。さらに、過圧切断ユニット、過圧センシングスイッチ、エッチング時の熱応力からウェーハを保護する冷却装置など、多くの安全機能が組み込まれています。AMAT 8110は信頼性とメンテナンスが容易であることを念頭に置いて構築されています。交換が容易な5つの真空ポンプはメンテナンスを容易にし、自動真空ツールはメンテナンスフリーを維持します。さらに、自動洗浄アセットにより、チャンバー内の汚染を素早く簡単に除去できます。アプライドマテリアルズ8110エッチャー/アッシャーは、金属、誘電体、およびパッシベーション層のエッチングとアッシングのために設計された効果的で汎用性の高いモデルです。低温プラズマ源、均一なエッチング速度と温度分布、高い選択性エッチング、現場のエンドポイント検出、過圧切断装置、およびその他の安全機能を備えており、信頼性の高い処理を保証します。ユーザーフレンドリーなインターフェースと簡単なメンテナンスにより、信頼性の高い作業を実現し、幅広いプロセス手順で迅速かつ正確にタスクを完了できます。