中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9076418 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8110（以下「AMAT 8110」といいます）は、半導体加工に使用される高度なエッチャーおよびアッシャーです。クラス1のクリーンルーム環境に収容され、精度と精度の業界標準を満たすように設計されたいくつかのコンポーネントがあります。アプライドマテリアルズ8110は、高効率ウェーハ加工用に特別に設計されています。エッチングチャンバーとアッシャーチャンバーという2つの独立したチャンバーを組み込んだ2段階のサイクルを使用しています。この組み合わせにより、生産性が向上し、サイクル時間が短縮され、結果が改善されます。8110のエッチチャンバーは、ウェーハ基板から材料を除去するために使用されます。反応性ガスとプラズマエネルギーの組み合わせを利用して、材料にパターンをエッチングすることで機能します。チャンバーは不活性な表面で構成されており、さまざまなレベルのエッチングのために400°Cまでの温度で動作することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS 8110のアッシャーチャンバーは、ウェーハ基板上に材料を堆積させるために使用されます。これは、チャンバーに反応性ガスを導入し、高エネルギーのプラズマを適用して蒸発させることによって機能します。この気化された材料は、パターンと特徴を形成する薄膜としてウェーハに堆積されます。AMAT 8110はまた、オペレータの利便性のために設計された多数のコンポーネントを備えています。これらには、オンボードコントローラ、自動診断、および多感度深紫外線（DUV）レーザーが含まれます。このレーザーは非常に小さい波長を検出することができ、エッチングおよび蒸着プロセスのより高い精度を可能にします。アプライドマテリアルズ8110には、ユーザーとコンポーネントに最高レベルの保護を提供する高度な安全プロトコルが装備されています。複数のPFMEA監査を組み込み、潜在的な相互汚染を排除するように設計されています。これは、チャンバー内の正確な大気レベルを維持するように設計された密閉シールと自動圧力制御システムを使用することによって達成されます。結論として、8110は、高精度のウェーハ処理のための堅牢で信頼性の高いエッチャーとアッシャーです。オペレータの利便性と安全性に特化した多数の機能を備え、今日市場で入手可能な最も先進的なマシンの1つです。