中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #293652765 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8110エッチャー/アッシャーは、シリコン、石英、その他の誘電体を含む幅広い基板をエッチングおよびパターン化するための汎用性の高い高性能ツールです。それはミクロンからサブミクロンのスケールの装置特徴を作成する速く、有効な物質的な取り外しのために設計されています。このツールは、リアクティブイオンエッチング（RIE）プロセスを使用して、10アングストローム以上の精度でエッチングされた深さと幅を制御することができます。AMAT 8110は、均一性を確保するためにクローズドカラー加工チャンバを備えており、高いアスペクト比とステップカバレッジを可能にする自動並列結合プラズマ（iCP）ソースを備えています。自動化されたウェーハハンドリング技術は、大量生産のために一貫した反復可能な結果をもたらします。エッチャー/アッシャーは、最大24個の6インチ（150 mm）ウェーハのバッチを処理し、高スループットと最大生産性を実現するように設計されています。このツールは、塩素（Cl2）、フルオロカーボン（CF4およびCHF3）、酸素（O2）、三フッ化窒素（NF3）などの幅広いエッチングガスとの互換性を目的としています。高純度エッチングガスとクローズドカラー加工チャンバーを使用することで、エッチングの均一性、究極のスループット、再現性が向上します。さらに、エッチャー/アッシャーには水晶モニター（QCM）を装備して、エッチング処理をその場で直接監視することができます。アプライドマテリアルズ8110エッチャー/アッシャーには、統合されたコンプレッサーと真空装置、およびクローズドループ冷却システムが含まれ、最適化されたプラズマ環境を提供します。オンボードユーザーインターフェイスは、温度や圧力など、さまざまなプロセスパラメータの直感的な制御、監視、記録を提供します。このツールはまた、複数のプロセス変数のリアルタイム監視をサポートし、プロセスの最適化と高い歩留まりのプロセス一貫性の維持を可能にします。プロセスの再現性に関する問題に対処するために、このツールは、ウェーハからウェーハへの一貫したエッチング結果を確保するためにパターン認識を備えた独自のチャーレート解析ユニットを利用しています。8110はまた、ステップカバレッジと高いアスペクト比の構造のための精密自動ウェーハアライナー機械のオプションを提供しています。標準装備として、AMAT/APPLIED MATERIALS 8110にはプログラム可能なフィードバックループ制御が装備されており、歩留まり結果のプロセス制御を改善するためのプローブテストが可能です。AMAT 8110エッチャー/アッシャーは、製造メーカーの生産出力と品質を支援するように設計されています。その汎用性の高い設計、高スループット、堅牢なハードウェアにより、反復可能な性能と最大歩留まりを備えた迅速かつ効率的な生産が可能になります。このツールは、半導体メーカーにとって不可欠なツールであり、最高のスケーリングとデバイス精度を実現します。