中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8100 #9356906 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8100は半導体製造用エッチャー/アッシャーです。そのコンパクトな設計、エッチング機能の汎用性、および高スループットレートにより、少量および大量生産およびエンジニアリングアプリケーションの両方に最適なソリューションです。AMAT 8100は、複雑なフィルム構造の正確な制御と処理を可能にするために、手動方式よりも高いソース電力を提供する統合マイクロ波発電機を提供しています。このジェネレータは、正確なエッチングの均一性とドリフトに対する感受性の低下を保証するために、in-situ圧力コントローラと組み合わされています。アプライドマテリアルズ8100プレートは、工作物とプロセス流体の密接な接触を提供し、プロセス結果の最適な均一性を提供するために設計された革新的なマルチポイントロードロック装置を備えています。8100は、プロセスの安全性、信頼性、および精度を保証する溶接、連結部品の配列が装備されています。このシステムはオートフィードロックイン機能を使用して、プロセス中にすべての安全コンポーネントが安全に動作し続けるようにします。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS 8100は、ローディング時間を最適化し、ローディングエラーを低減し、プロセス結果の均一性を確保するカセット間ウェーハリフトおよびトランスファーユニットを内蔵しています。AMAT 8100の高度な自動化およびプロセス制御システムは、ユーザーにリアルタイムでエッチングプロセスを監視し、即座に調整する機能を提供します。これには、幅広いプロセス測定とアラーム、フルデータ表示と制御、および繰り返しエッチングプロセス用のマルチレシピメモリとストレージが含まれます。APPLIED MATERIALS 8100には、ユーザーが希望するエッチングプロセスに最適な温度と流量分布を設定できる高度な流体管理マシンが組み込まれています。8100には複数のオンボードラインがあり、腐食剤、フォトレジスト、誘電体など、さまざまな流体を取り込むために使用できます。AMAT/APPLIED MATERIALS 8100はさらに、ガス配送、オペレータ署名、ユーザー定義のデータロギングなどの消耗品の効率的な管理をサポートします。特徴を兼ね備えたAMAT 8100エッチャー/アッシャーは、半導体デバイスの製造において高性能で信頼性の高いソリューションです。APPLIED MATERIALS 8100の追加された安全性、精度、オートメーションシステムは、少量および大量の生産およびエンジニアリングアプリケーションに適しています。