中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8100 #293645356 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8100エッチャー/アッシャーは、半導体デバイスの高生産性ナノメトリックエッチングおよびアッシング用に設計された装置です。AMAT 8100エッチャー/アッシャーには、最大300Cの温度で最大200mmのサイズの基板を処理できるColdWall™加工チャンバが含まれています。このシステムは、誘導結合プラズマ技術を使用して、様々な材料の高速かつ均一なエッチングを実現します。これにより、アッシングおよびエッチング作業で1分以下のサイクル時間が可能になります。アプライドマテリアルズ8100エッチャー/アッシャーには、基板の自動積み降ろし用のデュアルバレル輸送機構も備えています。デュアルバレル設計により、ロードとアンロードの高速化が容易になり、複数のレシピを実行するための柔軟性が向上します。8100エッチャー/アッシャーは、シリコン、シリカ、アルミニウム、タングステン、誘電体などの一般的に使用される材料の多くのプロセスレシピと互換性のあるエッチガスをサポートしています。圧力、プラズマパワー、プロセスガスフローなどの物理的なプロセス制御変数を提供し、エッチングの柔軟性を実現します。AMAT/APPLIED MATERIALS 8100エッチャー/アッシャーは、強力なデータロギングと分析機能と、ユーザーがカスタマイズされたレシピを作成、保存、管理し、プロセスのセットアップと実行を加速する包括的なレシピライブラリを提供します。AMAT 8100エッチャー/アッシャーは、充填、接触穴エッチング、反射防止コーティング除去などの用途に理想的な機械です。このツールは、優れたプロセス再現性とパフォーマンスを提供するように設計されています。ユーザーフレンドリーな設計と柔軟性により、幅広いプロセスアプリケーションに適しており、ユーザーは最大のエッチングとアッシングの生産性を達成できます。