中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 5200 #170744 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 5200は、次世代材料に信頼性の高い高品質のエッチング、アッシャー、その他のプロセス性能を提供するように設計された高度なエッチング/アッシュ装置（エッチャー/アッシャー）です。このシステムは、基板の精密エッチング/アッシュを容易にするために、プロセスチャンバーとリニアモーション/翻訳アセンブリで構成されています。AMAT 5200は、プロセスチャンバにガスまたは蒸気を導入し、チャンバの内容をさまざまなフロー制御およびプロセス制御パラメータに従うことによって動作します。高度な制御機能とプロセス機能のこの組み合わせは、エッチングまたは灰の結果の最高品質でさまざまな基板に対応することができ、堅牢で信頼性の高いユニットをユーザーに提供します。APPLIED MATERIALS 5200の基本モデルには、25。4 cm x 25。4 cm （10 「x 10」）のプロセスチャンバーが付属しており、エッチング/灰の構成のために最大5000 Wの前方および逆電力に対応できます。これにより、ユーザーはプロセスまたはアッシャー構成ごとに最大30 Wを実行でき、汎用性と選択肢が広がります。5200は1000°Cまでの温度、加湿機能およびガスの流れ管理を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS 5200は、エッチングまたは灰プロセスの有害な副産物からユーザーを隔離するための最新のチャンバーシールド技術を備えています。使用される遮蔽材料は、不要な排出から保護するために渦電流シールド構造です。AMAT 5200は、時間の経過とともに再現可能なプロセス条件を維持するように設計された正確なドライブマシンを提供します。これは、エッチング/アッシュプロセスの精度と再現性を確保するために、特許取得済みの同期渦電流モータによって駆動されるリニアモーションアセンブリによって可能になります。APPLIED MATERIALS 5200には、厚さ監視やエンドポイント検出などのオプションのコントロールも含まれており、ユーザーはプロセスをリアルタイムで監視できます。5200にはマルチセルプロセス監視ツールがあり、プロセスの再現性を向上させるために、エッチング/灰プロセスの各ステップを監視するために使用できます。最後に、AMAT/APPLIED MATERIALS 5200は、ユーザーが施設内の他のプロセスや機器を活用できる完全な統合機能を備えています。これにより、ユーザーは既存のエッチング/アッシュレシピをAMAT 5200に簡単に移行できます。APPLIED MATERIALS 5200は、あらゆる基板に最新の高品質エッチング/アッシュ機能を提供します。高度なプロセスチャンバー、シールド材料、正確なドライブ資産、データ監視および統合機能を備えた5200は、次世代のエッチング/アッシュ性能を求めるユーザーに最適なソリューションです。