中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0240-92696 #171999 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0240-92696は、さまざまな薄膜材料のチャンバーエッチングおよびアッシング用に設計されたエッチャー/アッシャープラットフォームです。エッチャー/アッシャーは、サンプルのロード/アンロードのための完全に自動化された装置を備えており、WindowsベースのHMIを備えています。5ポケットエレクトロポリッシュモジュールと6ポケットドライエッチモジュールの2つの処理モジュールが装備されています。両モジュールはデュアルプロセスチャンバー設計を備えており、各チャンバで独立したプロセスが発生し、直径18インチまでの大型基板の加工が可能です。エッチャー/アッシャーシステムは、ウェットエッチング、プラズマエッチング、反応イオンエッチング（RIE）などのエッチング技術を使用して、金属、シリコン、ガリウムヒ素、セラミックス、ガラスなどの幅広い材料を処理することができます。ウェットエッチングモジュールには、腐食性エッチング化合物の加熱風呂、清潔で効率的な処理のための独立した洗浄および通気システムが装備されています。プラズマエッチングモジュールは、無線周波数（RF）電源を使用して、指向性と等方性の両方のエッチングを可能にし、優れたエッチング制御性を備えています。RIEモジュールは、高密度プラズマを使用して、最小の破片で正確なパターンエッチングを実現します。AMAT 0240-92696には高度な監視および制御機能が組み込まれており、精密で再現性のあるプロセスを可能にします。例えば、自動化されたサンプラーにより、エッチャー/アッシャーユニットは、両方のモジュールの温度、圧力、およびICP RF電力を常に監視できます。操作をスムーズに行えるように直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた、オペレータの関与を最小限に抑える必要があります。このマシンには、すべてのガスがツールから適切に排出されるようにするための自動排気管理ツールと、追加の保護のための緊急シャットオフスイッチも含まれています。全体として、APPLIED MATERIALS 0240-92696は、高精度エッチングおよびアッシング機能の範囲をユーザーに提供する高度なエッチャー/アッシャープラットフォームです。統合された自動化資産とモニタリングコントロールにより、ユーザーの関与を最小限に抑えた正確なプロセスが保証され、さまざまなエッチング技術により、さまざまなアプリケーションでの使用に適しています。