中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-89006 #167778 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-89006は、半導体製造のための高度なエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、冷間プラズマ技術を利用して薄膜基板を処理します。この装置は、薄膜基板をエッチングおよびアッシャーし、再現可能な均一性を持つサブミクロン精度を実現する平面および3Dパターニング機能を備えています。システムのコンポーネントには、ロードロック付きエッチングチャンバー、ロードロック付きアッシャーチャンバー、ポンプステーション、統合フィルター/パージ用チャンバー、不活性ガス供給、精密アライメントユニット、空圧モジュール、電源、元situ真空プライミングマシン、真空インターロックが含まれます。このツールは、生産歩留まりの向上と基板の損傷の低減により、より大きな資産スループットと使用率を提供するように設計されています。このモデルは、最大6インチウェーハを処理することができ、複数のレシピとレシピごとに250ステップのプロセス制御モジュールを備えています。誘電体エッチング、CMP表面平面化、静電プラズマ洗浄およびコンディショニング、スパッタエッチング、コンフォーマルコーティング、酸化/窒化および高温アニーリングなど、複数の薄膜エッチングおよび基板処理プロセスをサポートするように設計されています。この装置は、ウェーハチャッキングトルクと制御、クーラントマニホールド圧力制御、フォーカス制御深度のオートフォーカス機能、プロセス条件とパワーレベルを調整する機能、重要なプロセスパラメータを監視するためのin-situ測定機能、汚染から保護するための統合クリーンチャンバーなど、多くの機能を備えています。AMAT 0020-89006は反復可能な均一性と高レベル精度を提供する業界グレードのエッチャー/アッシャーシステムです。その高度な機能は、効率的な処理を提供し、生産数量実行のための均一性と精度を保証します。その洗練されたユニットは、薄膜エッチングと薄膜処理のための広範な機能を提供します。この機械は生産の半導体製造の適用のための完全な解決です。