中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-10202 #167840 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-10202
ID: 167840
ウェーハサイズ: 8"
ESC's, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALTS 0010-10202 Asher Etcherは、幅広い基板に高度なエッチングおよびアッシングプロセスを提供するために特別に設計された最先端の機械です。ステンレス製で構成された装置は、高精度で高精度な結果を得ることができ、1時間あたり最大2000ウェーハの速度でエッチング/アッシングが可能です。このシステムには、完全な自動化されたプロセス監視と制御のためのExt-Met Unit Controllerが含まれています。この機械には、高性能の円形プラテンエッチチャンバーと2つのトランスファーチャンバーが装備されており、それぞれに真空ポンプがあります。環状プラテンエッチングチャンバーは、1時間あたり2000ウェーハまでの材料エッチング/アッシングが可能で、完全な環境およびプロセス制御ツール機能を備えています。このチャンバーは高さ調節可能な台座を備えており、ウェーハの積み降ろしやプロセス調整が容易に行えます。このアセットには、ガスエッチプロセス機能も含まれており、さまざまなガスフローと圧力を選択して、可能な限り最適化された精密なエッチング/灰プロセスを構成することができます。AMAT 0010-10202 Asher Etcherは、メンテナンスを最小限に抑え、あらゆる材料において完璧なエッチング結果を得るように設計されています。このモデルには温度とフロー制御機能が内蔵されており、可能な限り安定した精密なエッチング結果を得るために調整することができます。装置には均一性と汚染モニタソフトウェアも含まれており、ユーザーはエッチング/灰プロセスをリモートで監視し、材料が正確に処理されることを保証することができます。このシステムには、ユーザーに最高レベルのプロセス制御と精度を提供するマルチレベルプログラマブルコントローラも装備されています。また、高度なオートメーション機能を備えており、高い信頼性と再現性を備えた複数のウェーハバッチの堅牢なプロセス制御とサポートを提供します。このマシンには、不規則性が発生した場合にエッチング/灰プロセスを自動的に停止する安全オーバーライドツールも含まれています。全体的に、APPLIED MATERIALTS 0010-10202 Asher Etcherは、エッチング/アッシュ基板の最高レベルの生産を提供するように設計された優れた機械です。高度な自動化、均一性、汚染モニタ、安全オーバーライドシステムにより、半導体業界に関連する精密プロセスに最適です。この資産の高速、高精度プロセスは、比類のない制御と品質管理を提供し、市場で最高のエッチングマシンの1つになります。
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