中古 AMAT / APPLIED MATERIAL P5000 #293656948 を販売中

AMAT Applied Materials AMAT/APPLIED MATERIAL P5000 Asher/Etcherは、さまざまな業界の高精度プロセスアプリケーションに適した汎用性の高いツールです。優れた精度と安定性を実現するとともに、効率的なスループットを実現し、ユーザーは一貫した高品質な結果を得ることができます。AMAT P5000には、プリクリーン用、エッチング用、ポストクリーン用の3つのプロセスチャンバーがあります。各プロセスモジュールには、独立した圧力および温度制御、およびin-situおよびex-situ監視機能が装備されており、ユーザーはプロセスを最適化できます。チャンバーは、内蔵のチラーと正確な熱PIDループを介して温度制御されます。さらに、高度な圧力制御システムが導入されており、定常状態の均一性と正確なプロセス最適化が可能です。応用材料P5000は、電子サイクロトロン共鳴（ECR）エッチング、高密度プラズマエッチング（HDPE）、反応イオンエッチング（RIE）、低温深度プラズマエッチング（DPE）、高度なプロセスレシピのためのマルチステップエッチングなど、幅広い成膜技術が可能です。さらに、幅広いエッチングガスをサポートしているため、高度なロジックおよびメモリデバイス、相互接続、MEMSデバイスなどのアプリケーションに最適です。P5000には、他のエッチング/アッシャーシステムから際立つような高度な機能がいくつかあります。このツールの高度な統合オートメーション機能により、セットアップやプロセスレシピへのユーザーの関与が減り、より大きな生産ニーズに最適です。統合されたインターロック検証マシンは、すべての重要なツールパラメータをリアルタイムで監視し、ユーザーに信頼性と再現性の高い結果を保証するための詳細なフィードバックを提供します。AMAT/APPLIED MATERIAL P5000は、正確なプロセス最適化を保証する高度なプロセス監視機能も提供します。これには、レシピ中の重要なプロセスパラメータを検証するためのin-situおよびex-situ光学観測と組み込み分光計が含まれます。さらに、このツールにはリアルタイムの電気監視資産が組み込まれており、あらゆるタイプの過剰エッチングまたはアンダーエッチングから保護されます。全体として、APPLIED MATERIAL/Applied Materials AMAT P5000 Asher/Etcherは、優れた性能と精度を必要とするプロセスアプリケーションに最適です。統合されたオートメーション機能やプロセスモニタリング機能などの高度な機能により、生産プロセスに最適であり、幅広い成膜およびエッチング技術により、非常に汎用性が高くなります。また、操作やメンテナンスも容易で、生産環境における有効性がさらに向上します。