中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR #9286872 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIRは、エッチング/アッシングおよびその他の真空加工プロセス用の高負荷、プロセス互換性のあるエッチャー/アッシャーです。このエッチャーは、高い負荷容量と高いエッチング/アッシング速度を備えているため、動作するように設計されています。ADIXEN GIRは、半導体材料や高k誘電体などの薄膜材料の加工に使用できます。薄膜材料の切断・剥離にも使用できます。機械にプロセス条件に従ってセットアップし、使用することができる温度制御されたエッチング/灰の部屋の装置があります。ALCATEL GIRには、モーターを内蔵した可変角ターボポンプと真空チャンバー内のロータリーベーンポンプが搭載されています。これにより、低温および高温の両方のアプリケーションで正確かつ正確なエッチング/アッシングが可能になります。GIRは、精密なコンピュータ制御ステッピングモータを使用して、エッチング/アッシング速度を正確に制御し、再現可能なプロセスを保証します。真空発振器も搭載しており、エッチング/アッシング精度がさらに向上します。エッチング/アッシングプロセスは、フロントエンドのプログラム可能なユーザーインターフェイスによって制御されます。これにより、ユニットパラメータを制御するためのフル機能のグラフィカルユーザーインターフェイスが提供されます。このユーザーインターフェイスは、シンプルで直感的なエッチング/アッシング処理を設定および制御する直感的なレイアウトを備えています。PFEIFFER GIRには、プロセスの最適化と制御に使用されるインラインモニタリングマシンも含まれています。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIRは高温およびさまざまな腐食性の化学薬品に抗するために造られる高度の熱および化学抵抗材料と組み立てられます。エッチング/アッシングチャンバーは、ステンレス鋼から構築され、堅牢な性能のために設計されています。これにより、プロセス品質が完璧で反復可能であることが保証されます。全体として、ADIXEN GIRは高負荷真空プロセス対応のエッチャー/アッシャーです。さまざまなエッチング/アッシング工程や材料を処理するように設計されており、正確で正確なエッチング/アッシング用の正確なコンピュータ制御ステッピングモータを備えています。ALCATEL GIRは、プロセスの品質が完璧であることを保証するために堅牢な材料で構成されています。GIRは、ユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと、プロセスの最適化と制御を確実にするためのインライン監視ツールも備えています。