中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR 300 #9386027 を販売中
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR 300は、シリコンウェーハなどのマニュアルエッチング用に設計された高精度エッチャー/アッシャーです。電気、写真、温度、環境特性を持つ基板など、さまざまな基板を加工できるように設計されています。ADIXEN GIR 300は、ユーザーが正確なニーズに合わせてプロセスを調整することができ、さまざまな機能とオプションを提供しています。ALCATEL GIR 300は、加工中にウェーハを移動させることができる回転プラテンアセンブリを備えた垂直エッチャー/アッシャーです。これにより、基板をさまざまな方向にエッチングすることができ、精度を維持しながらエッチング速度を最大化することができます。プラテンは空気シリンダーによって所定の位置に保持され、精密な動きを保証します。GIR 300には、精密エッチングに必要な高速エッチングレートを生成するためのユニークな制御コンポーネントがいくつか装備されています。これには、サーボ駆動、4軸ポジショニングシステム、リニアドライブ、高精度ピエゾドライブが含まれます。これらのコンポーネントは、エッチング速度、エッチング深さ、および最終層の厚さを調整するために使用できます。エッチャー/アッシャーには、ガス検出器とマノメーターが内蔵されており、潜在的なガス漏れをユーザーに通知し、処理チャンバー内の圧力を表示します。さらに、プロセス制御システムの自動化により、エッチング処理を監視し、ユーザーに早期に問題を通知し、ウェーハへの潜在的な損傷を防ぎます。PFEIFFER GIR 300は安全性を重視しており、加工室内の圧力、真空、温度を監視、制御するさまざまな安全機能を備えています。統合されたインターロックシステムにより、処理中にドアが開くのを防ぎ、安全限界を超えると安全弁がガス供給を遮断します。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR 300は、シリコンウェーハなどの精密エッチング用に設計された汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。強力で高精度なドライブコンポーネントと統合された安全機能により、プロセスが安全で正確であることを保証します。
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