中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMZ 200SE #140744 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMZ 200SEは実験室および産業使用のために設計されているエッチャーおよびasherです。自己完結型の装置で、エッチング、成膜、微細加工など様々な用途に適しています。ADIXEN AMZ 200SEは効率的に排気され、デジタル真空制御システムと統合されるステンレス鋼の部屋と組み立てられます。チャンバーには、リフトカバーと埋め込み窓も装備されており、プロセスの全景を見ることができます。また、多孔質セラミック断熱材を採用し、温度均一性を最大化するように設計されたチャンバー内の強制空気循環によって補完される効率的な熱制御を可能にします。エッチャー/アッシャーには、メタン、SF6、ヘリウムなどのさまざまなガスを含むガスパネルが取り付けられています。アプリケーションに応じて、ユーザーは簡単にガス流量、圧力、および組成を変えることができます。さらに、統合されたパルス電源はガスの電力レベルを制御し、ユーザーは特定の要件に応じてプロセスパラメータを簡単に調整することができます。ALCATEL AMZ 200SEにはユーザーフレンドリーで使いやすいオペレーティングソフトウェアがあり、生産性を向上させながら最大限のプロセス制御を提供します。このソフトウェアは、プロセス時間、圧力、ガス流量などのさまざまなプロセスパラメータを監視および制御するようにプログラムされています。それはまた圧力を監視し、あらゆる予期しないでき事に反応し、それを信頼でき、安定したシステムにすることができます。AMZ 200SEは実験室および産業環境の最高の安全のために設計されています。主な安全機能には、内蔵の緊急バルブと特別なメカニカルシールが含まれており、すべての危険なガスがチャンバー内に安全に含まれ、ユーザーから排出されます。PFEIFFER AMZ 200SEは、信頼性が高く効率的なエッチャーとアッシャーで、さまざまなアプリケーションに最適です。それは容易に調節し、監視することができるさまざまなプロセスパラメータとの精密で、精密な操作のために適しています。このようなパラメータには、ガス、圧力、パルス電源、およびプロセス時間の供給が含まれます。信頼でき、有効な特徴のALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMZの200SEは実験室および産業環境のためにそれを適したようにします。