中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 601E #9232798 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 601Eは、精密エッチングおよびアッシング処理に使用される最先端のエッチャー/アッシャーです。この汎用性の高いマシンは、ハイスループットと高品質の微細加工に最適です。この601Eは、大容量のチャンバーにより、最大8インチまでのウェーハのエッチングと、シリコン、ガラス、ポリマー基板などのさまざまな基板を可能にします。601Eは、3Dプラズマソース、統合ガスハンドリング、低圧差動ポンプなど、高度なエッチングとアッシング技術を備えています。601Eの3Dプラズマソースは、従来のフラットプレート設計と比較して、より密で均一なプラズマを生成することができます。この技術により、プロセスの再現性が向上し、エッチング率が向上します。一方、統合されたガスハンドリングシステムは、プロセスガスを正確に制御し、より均一なプラズマ環境を実現し、プロセスの再現性を向上させます。この601Eにはチャンバー冷却システムも装備されており、長いプロセスでプロセスチャンバーの温度を低下させます。これにより、エッチング性能を最適化し、エンドポイント検出を正確に制御するために基板を理想的な温度に保つことができます。さらに、低圧差動ポンピングシステムは、長時間のアッシング中に形成されたプラズマエンベロープを維持するのに役立ちます。ADIXEN AMS 601Eは、最高レベルのエッチングとアッシング精度のために設計されています。その高度な技術、堅牢なデザイン、信頼性の高いパフォーマンスにより、601Eはあらゆるエッチングまたはアッシング用途に最適です。