中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9285833 を販売中
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ID: 9285833
ヴィンテージ: 2008
Plasma DRIE etcher
Dual load locks
Robot transfer module
Controller rack
RF Generator rack
Front and rear monitor
BROOKS AUTOMATION Platform
Magnatron 7 Robot
ACT 600M TMP Turbo pump
Interface computer
Transfer computer process chamber: AMS X200
ACT 1300M TMP Turbo pump
(2) SEMCO HV52000C SEREN L301 RF Power supplies
ADVANCED ENERGY Dressler cesar RF
ENI Spectrum B-3013 RF Generator
Process gases:
Gas / Range
SF6 / 1000 SCCM
C4F8 / 400 SCCM
O2 / 100 SCCM
O2 / 800 SCCM
Ar / 200 SCCM
N2 / 1000 SCCM
Ar / -
CHF3 EDM / -
CE Marked
Power supply: 200/208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2008 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200は、要求の厳しいアルミエッチングおよびアッシング要件に特化した専用プラズマエッチャー/アッシャーです。ADIXEN AMS 4200は、幅広いエッチングとアッシング機能を備えたタッチスクリーンHMIコントローラを備えています。700ワットのプラズマソースで設計されており、エッチング/アッシングプロセスでの再現性と歩留まりの向上を可能にします。それに真空チャンバーを作成し、維持する独特な二重壁のステンレス鋼の設計がありますアルミニウム部品を/ashingとき適切な処理を保障します。また、タイマー制御ガスバルブ、ガスオーバーフローバルブ、デュアルスピード真空レギュレータなど、安全性を高めるさまざまな機能を備えています。ALCATEL AMS 4200には、調整可能なDCおよびRF周波数、幅変調、および現在のプロファイルなど、多くのカスタマイズ可能な設定があり、オペレータがエッチング処理を調整し、所望の結果を確実にすることができます。内蔵のRFジェネレータは、50 Wから700 Wまでの幅広い電力レベルを提供し、エッチング処理を特定のアプリケーションごとに微調整することができます。さらに、統合されたチャンバ圧力制御と内蔵圧力計により、アルミニウム部品のエッチングまたはアッシング時に精密なチャンバ圧力制御が可能です。PFEIFFER AMS 4200には、メンテナンスコストを最小限に抑えながら、効率と再現性を向上させるさまざまな機能が搭載されています。レシピストレージとアラームロギングを備えたカスタマイズ可能なソフトウェアパッケージにより、オペレータは処理レシピを簡単に構成して保存し、操作のトラブルシューティングを行うことができます。さらに、自動ガスレギュレータとオプションのプログラム可能なリフトオフシステムにより、再現性の高い生産性が保証されます。効果的で信頼性の高い2ソース供給システムも利用可能で、セットアップ時間を短縮し、プロセスの再現性を向上させます。最後に、AMS 4200は、現場での真空漏れ検出モジュールなどのさまざまなモジュールと組み合わせることができ、セットアップコストをさらに削減し、プロセスの再現性を向上させることができます。全体として、ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200は信頼性が高く、効率的なエッチャー/アッシャーです。その機能は、プロセスの再現性を向上させ、メンテナンスコストを最小限に抑え、カスタマイズ可能な設定により、エッチング/アッシングプロセスを正確に制御し、最適な結果を保証します。
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