中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9280675 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造用のエッチャー/アッシャー装置です。さまざまな半導体および/またはマイクロ電子デバイス材料のエッチングおよびアッシングプロセスを正確に制御できるように設計されています。このシステムは、高度な診断と最新のエッチング/アッシュ製品を通じてプロセス制御を強化します。ADIXEN AMS 4200は、入力ディスプレイモニターとエッチング/アッシュチャンバーという2つの重要なコンポーネントで構成される、完全に自動化されたモジュラーエッチャー/アッシャーユニットです。ディスプレイモニターは、8。4インチカラータッチスクリーンディスプレイで構成されており、さまざまな調整可能なパラメータにアクセスして、正確なプロセス機能を保証します。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスは、さまざまなエッチング/アッシュオプションを簡単にナビゲーションできます。8。4"タッチ画面の表示は4段階の指導制御、手動操作、必要な情報および実時間動的操作の監視の広範囲メニューを特色にします。エッチャー/アッシャーチャンバーは、ガスラインで接続されたエッチングチャンバーとアッシングチャンバーの2つの別々に設置可能なチャンバーで構成されています。エッチングチャンバーは、ステッピングモータを制御するACフィードバック回路で構成されています。アッシングチャンバーは、セラミック材料ヒーターアセンブリ、圧力トランスデューサ、3つの石英熱電対で構成されています。ALCATEL AMS 4200はまた、温度に敏感な材料のエッチング/アッシングプロセスを可能にするために、低温互換性を備えています。マシンは、単一または複数のウェーハモードで動作することができます。また、AMS 4200は、過温度条件、圧力条件および/または異常ガス流上での緊急停止スイッチなどのユーザー安全機能も提供します。PFEIFFER AMS 4200の温度範囲は0〜1000°C、プロセス圧力範囲は0。2〜7。5 torrです。このツールには、サンプルコンディショニング用の圧力チャンバーガス接続と手動ベントチューブ接続が装備されています。建材はステンレス、アルミ、パイレックス。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200は、プロセス制御精度、自動ウェハローディングとアンロード、複数のプロセスタイプの互換性など、さまざまな機能を提供します。Si、 SiGe、 SiO2など、半導体デバイス製造におけるさまざまな材料のエッチングに適しています。