中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9225142 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200は、複雑な半導体デバイス製造アプリケーション向けに設計されたプラズマエッチャー/アッシャー装置です。デリケートで高精度なエッチング・アッシング加工に適しており、極めて微細な高性能な半導体部品の製造が可能です。ADIXEN AMS 4200は、制御レベルの精度と均一性を提供するベクトル化メディア輸送システムによって駆動されます。これにより、オーバーラップされた間隔とランサイズが一貫しているため、エッチング/アッシングプロセス全体で高い精度が保証されます。また、調整可能なカセットにより、複数のウエハサイズや基板にも対応可能です。このマシンは、必要なエッチング速度と均一性レベルを提供するために、複数のシングルソース電源を採用しています。すべての電源は上面に取り付けられ、オペレータの使用とメンテナンスのためにアクセス可能です。このユニットは、制御されたクリーンなプラズマを使用するため、汚染やプロセス条件のシフトにも耐性があります。ユーザーフレンドリーな設計と専用のファンクションキーにより、オペレータは最小限の経験で迅速かつ確実に生産できます。ALCATEL AMS 4200は、最高レベルのプロセスセキュリティと信頼性を確保するために、さまざまな安全機能を備えています。ウェーハの温度変化を検知するクォーツセンサや、ウェーハを突然の動きから保護する安全蓋などがあります。エッチング/アッシングプロセスは、環境条件の急激な変化によって停止または影響を受けることを防ぐ診断システムでリアルタイムに監視されます。このマシンには、エッチング/アッシングプロセスパラメータの正確なエミュレーションを可能にする統合ソフトウェアが含まれています。このソフトウェアは、オペレータが素早く、簡単に、正確にパラメータを変更して、ツールの優れた再現性を利用できるようにします。最後に、全体の資産は、モジュール構造とユーザーフレンドリーな設計のおかげで便利にインストールされ、維持されるように設計されています。このモデルの効率的なラックマウント設計により、設置と再配置が簡素化されます。メンテナンスは、付属のツールキットとメーカーが承認した部品で迅速かつ便利です。PFEIFFER AMS 4200は、精密で複雑なウェーハエッチングやアッシングを作成するのに最適な、高度で正確なエッチャー/アッシャー機器です。使いやすい機能と信頼性の高い結果により、このシステムは複雑な半導体デバイス製造アプリケーションでの使用に適しています。