中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9315053 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200は、フラットパネルディスプレイ、半導体ウェーハ、太陽電池などの特定の用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、350nm以下の領域の精密エッチング/アッシングを提供するように設計されています。完全に囲まれた自動化されたプロセスチャンバーを備えており、プロセスパラメータを正確に制御し、カスタマイズ可能なユーザーインターフェイスを備えており、効率的な操作が可能です。ADIXEN AMS 200には、関連するすべてのプロセスガスの正確な流量制御と監視を可能にする高度なガス制御装置が装備されています。このシステムは、ガスの種類、圧力、温度、流量など、さまざまなエッチング/アッシングパラメータが可能です。オン/オフ、エッチング/アッシング、ディープエッチング/アッシングなど、さまざまなプロセスオプションもあります。このユニットは、幅広いサンプルサイズと用途に合わせて調整することもでき、エッチング/アッシュ結果の優れた均一性を提供します。ALCATEL AMS 200は、自動ウェーハアライメントマシンも備えています。これにより、エッチング/アッシングが開始される前に、サンプルがプロセスチャンバー内で適切に配置されていることが保証されます。アライメントは、ウェーハごとに正確なフィット感を提供する調整可能なアライメントジグのセットを使用して達成されます。PFEIFFER AMS 200は、高度な真空ツールも備えています。このアセットは0。1 Torr以下の圧力に達することができ、真空ポンプ、真空ゲージ、真空モデルコントローラなどの様々な真空コンポーネントが装備されています。これにより、すべてのプロセスパラメータが正確に制御され、サンプルがエッチング/アッシングプロセスに完全にさらされます。結果が再現可能で汚染物質がないことを保証するために、AMS 200は強力な排気装置を備えています。エキゾーストノズルを採用し、プロセスの副産物や未使用のエッチング/アッシングガスを除去し、クリーンで安全な処理環境を実現します。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200は、ほこりやその他の汚染物質から優れた保護を提供する堅牢なステンレススチールエンクロージャに収容されています。さらに、ユニットはメンテナンスと修理が簡単にできるように設計されています。ユーザーはプロセス部屋にすぐにそして容易にアクセスし、機械全体を分解しないで摩耗した部品を取り替えることができます。結論として、ADIXEN AMS 200は、幅広いサンプルサイズと用途に精密プロセス制御を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。それは維持し、修理すること容易で、強力な真空用具および排気資産の助けを借りてエッチングされた/ashed結果の優秀な均等性を提供する堅牢な封筒を特色にします。