中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9315005 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200は、産業エッチングプロセスで使用される高度なプラズマアッシャー/エッチャーです。ADIXEN AMS 200は、要求の厳しい生産需要に使用するように特別に設計されており、高い再現性レートで正確で信頼性の高いエッチングを提供します。業界をリードするエッチング速度を提供し、エッチング速度、温度、エッチング時間を正確に制御します。ALCATEL AMS 200はスマートユーザーインターフェイスを備えており、セットアップと操作が簡単です。これは、迅速なプロセスの最適化だけでなく、手動と自動モードの両方でパラメータの高速チューニングを容易にします。オンボードプロセスの監視と診断により、正確な結果とプロセスの安定性が保証されます。PFEIFFER AMS 200は、エッチングプロファイルの形状を正確に制御するユニークなエッチコントロールも備えています。AMS 200には、複数のプロセスレシピを管理するように設計された高度な制御システムが装備されています。また、エッチング特性の分析や均一性など、さまざまな分析およびデータ管理オプションも含まれています。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200は、ドライエッチングとウェットエッチングの両方で使用できます。ADIXEN AMS 200は、可変/定流レギュレータ、デジタルガスバルブコントローラなど、ガス制御に関するさまざまなオプションを提供します。また、オンボードガスの混合および配送システムを備えており、正確で再現性のあるガス混合を可能にします。ALCATEL AMS 200には、エッチング後のガス排出用のオプションの真空ポートがあります。PFEIFFER AMS 200は、エッチング後のケミカルメンテナンスなど、マルチレベルのローディング技術を提供しています。これにより、複数の基板およびチャンバ構成にわたってプロセスの最適化を容易に実現できます。全体として、AMS 200は精密で信頼性の高い再現性の高いエッチングを提供する高度なエッチングシステムです。業界をリードするエッチング速度、包括的なオンボードガス制御、エッチング速度、温度、エッチング時間の正確な制御を提供します。ドライエッチングやウェットエッチングなど、さまざまなエッチング処理に適しており、迅速な最適化と均一な結果を得るために設計されたさまざまな機能を提供します。