中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9270002 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200は、大量のアプリケーションで信頼性の高い性能を提供するように設計された産業用グレードエッチャー/アッシャーです。バッチ処理と連続処理の両方を含む、幅広いエッチングおよびアッシング要件を満たすように構成されています。高周波マイクロ波発電機はシステムに電力を供給し、チャンバー内の複数の加熱ゾーンに正確な温度制御を提供します。これにより、エッチングまたはアッシングプロセスがウェーハまたは基板全体で均一に処理されるようになります。ADIXEN AMS 200は、時間とエネルギーの両方を最適に利用できるように設計されています。これは、2つのエッチングとアッシングモードを提供しています-自動とマニュアル。自動モードを使用すると、プロセスに必要なパラメータを指定し、前のプロセスサイクルの結果に基づいてプロセス条件を自動的に調整できます。手動モードでは、ユーザーは手動でプロセス条件と間隔を制御することができ、プロセス条件のチューニングを容易にすることができます。ALCATEL AMS 200には、リアルタイムディスプレイが含まれており、プロセスの結果を任意の時点で可視化し、過剰処理または過剰処理のリスクを最小限に抑えることができます。AMS 200は、長期的な信頼性と改善された安全機能のための堅牢な設計を提供します。部屋は外のステンレス鋼の包装が付いている内部によって上げられる陶磁器のプラットホームから成っています、密閉シールおよび優秀な熱性能を提供します。それはプロセス化学薬品の広い範囲を扱い、腐食に抵抗するように設計されています。また、安全を念頭に置いて設計されており、安全センサーと安全インターロックを内蔵し、安全な動作環境を確保しています。PFEIFFER AMS 200は、特定のアプリケーションに合わせて複数のオプションのアクセサリで構成できます。これらには、RFシールドライナー、反応ガス処理を可能にするバブラー、粒子の蓄積を防ぐフラッシングシステムなどがあります。全体として、ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200は、高容量プロセスにおいて信頼性の高い一貫したパフォーマンスを提供するように設計された産業レベルのエッチャー/アッシャーです。これは、チャンバーの複数の加熱ゾーンで正確な温度制御を利用し、リソースの利用を最適化するために自動モードと手動モードの両方を提供しています。ADIXEN AMS 200は、堅牢な構造と、安全性を確保するための強化された安全機能を備えています。