中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9269458 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200は、反応イオンエッチング（RIE）などの材料加工用途向けに特別に設計された高度な統合エッチング/アッシャー技術です。これは、単一のプラットフォームで3つのエッチング技術の選択をユーザーに提供する柔軟な機器です。この柔軟性とハイエンドな性能により、ADIXEN AMS 200は、プラズマアシストエッチング（PAE）、化学機械研磨（CMP）、リソグラフィなどの高度なプロセスに最適です。システムの主な特徴の1つは、統合された設計であり、ユーザーはチャンバー、発電機、電源に同時にアクセスできます。このユニットは、低消費電力と最小限のメンテナンスを提供します。自動化された処理を可能にするコンピュータ制御のオペレーティングマシンを備えています。このツールは、金属、酸化物、窒化物、プラスチックなどのさまざまな材料にも対応しています。ALCATEL AMS 200は、標準モジュールと生産モジュールの両方で多種多様な材料を処理することができ、均一なエッチングと加工のための高度なサーボ駆動アセットを備えています。このモデルは、単一のプラットフォームで高解像度のスキャンおよび成膜機能を提供します。また、統合制御装置により、自動化と再現性のためのプロセスパラメータを迅速に設定できます。また、従来のエッチングプロセスよりも短いプロセス時間に最適化されています。このユニットは、内蔵のガスおよび液体マニホールドを介して優れたプロセス制御を提供します。これにより、化学蒸着（CVD）、イオンミリング、レーザーアブレーション、電気化学エッチングなど、さまざまなプロセスでガス圧力、流量、エッチングのパラメータを正確に設定できます。PFEIFFER AMS 200には、最適化された障害マッチング、パルス周波数変調（PFM）、パルス幅変調（PWM）、およびパルスドープアンプを備えた高度なRFジェネレータも組み込まれています。これにより、エッチング処理の制御性と精度が向上します。このマシンは、熱安定性を向上させるための内蔵冷却ツールから高品質のガス入口資産まで、包括的な機能を備えています。これは、ユーザーが安全にエッチングと画質を維持できるようにするのに役立ちます。全体として、AMS 200は、さまざまな材料加工アプリケーション向けに特別に設計された統合された柔軟なモデルで、堅牢なエッチング機能を提供します。低消費電力と使いやすい制御を組み合わせることで、精密エッチングや画像処理に最適なソリューションです。