中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9232795 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200は、高度なウェーハ処理環境のニーズに対応する高精度エッチング/アッシングシステムです。長寿命の三極プラズマ電子源を搭載し、制御されたエッチング、アニール、その他の処理機能を実現しています。プロセス制御は高精度で、非常に微細なパターニングと優れた再現性を実現します。ソースは、所望の結果を達成するための確率の範囲にわたって調整可能です。機械の構造は堅牢で簡単です。主に制御扉を備えた真空チャンバー、プラズマ源、および関連する電源および制御システムで構成されています。プラズマ源には調整可能なシャッターメカニズムがあり、ウェハ全体にわたって一貫した均一なエッチング/アッシング処理を保証します。空気と窒素ガスは、熱放射なしで、それを損傷することなく、各ウェーハに適用されます。エッチング/アッシングプロセスは、任意のアプリケーションに合わせて調整することができ、設定はウェーハ間で簡単に翻訳されます。複雑なパターンでもウェーハ全体を通して精密かつ再現性の高い処理速度を維持します。ADIXEN AMS 200は、代替システムと比較して動作温度が低いため、より長い期間動作できます。さらに、ALCATEL AMS 200は多数の安全機構を備えています。これは、窒素ガスのレギュレーションとソース、真空圧力、および内部温度を監視するセンサースイートを備えています。これらのサブシステムのいずれかが安全な動作パラメータを超えた場合、通知がユーザーに送信されます。このマシンには、問題が発生した場合の緊急シャットオフオプションもあります。PFEIFFER AMS 200は、さまざまなウェーハ処理要件に対応しながら、安全性と精度を確保できる汎用性の高いシステムです。高精度なエッチング/アッシングやファインスケールパターニング機能を必要とする環境に最適なソリューションです。