中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9229763 を販売中
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200は、サンプルの精密エッチングおよびアッシング用に設計された高性能エッチャー/アッシャー装置です。それは2つの異なった処理周期を並行して可能にする1つの統合されたロードロックの部屋および2つの反作用の部屋が装備されています。この装置は、300〜700°Cの温度範囲、10〜2〜100 mbarの圧力範囲、および5〜150 ml/minのガス流量で構築されています。ADIXEN AMS 200は、反応性イオンエッチング（RIE）、ドライエッチング、ウェットエッチングなど、さまざまな化学物質でエッチングすることができます。さらに、この装置は、直接プラズマおよび熱浸漬アッシング（TIA）を含むアッシングのためのいくつかのオプションを提供しています。ALCATEL AMS 200の主な利点は、精密な制御と高精度です。この装置は、エッチングとアッシングの両方のプロセスのための正確な温度と圧力制御を備えています。また、精密なガス流量測定とクローズドループ制御により、一貫した結果を保証します。さらに、統合されたロードロックチャンバーにより、正確なサンプル処理と処理中のサンプルの迅速な交換が可能になります。オペレータの安全のために、AMS 200は統合された圧力保護システムが装備されています。このシステムは、プロセスの開始時に設定された限界値を超えると、自動的に装置をシャットオフします。これにより、人員とサンプルの安全性が確保されます。結論として、PFEIFFER AMS 200は、サンプルの精密なエッチングとアッシングのために設計された高性能エッチャー/アッシャー装置です。精密な制御と高精度で、この機器はサンプルを処理するための安全で信頼性が高く効率的な方法を提供します。精密なエッチングとアッシングを必要とするあらゆる用途に最適です。
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