中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9229761 を販売中
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200は、薄膜用途向けの高度で高精度なエッチャー/アセンブラです。エッチャーは、薄膜マイクロストラクチャーの研究と工業生産のために設計されています。ナノメートルレベル（0。1ナノメートル）の精度で、銅や金などの様々な薄いメガネや金属をエッチングすることができます。この装置は、エッチングと組立工程の両方に非常に高い再現性と精度を提供します。このシステムには、エッチングおよび組立工程中に小さな部品を操作するための200 x 200 mm²（平方ミリメートル）の最大プロセス面積をカバーする多軸マイクロポジショニングおよび真空モジュールが含まれています。多軸マイクロポジショニングモジュールは、エッチャーの最高レベルの精度制御を提供します。0。1ナノメートルのパターンを正確にエッチングすることができます。また、クラス最高の2つの電子ビーム源を内蔵しており、高速蒸着、解像度の向上、優れたスループット、高出力出力を実現しています。さらに、このマシンは、堆積したフィルムの成長率と堆積フィルムの組成に関するリアルタイム情報を提供する統合されたデジタルデータ処理ツールを備えています。ADIXEN AMS 200エッチャー/アセンブラは、薄膜ウェーハ表面に材料を適用するための均一な温度および湿度制御環境を提供するための高性能、低振動、および耐腐食性チャンバーを備えています。このチャンバーはさらに、非常に均一なエッチング結果を保証します。また、コンピュータ制御ウェハハンドリングの最新の進歩により、最大の効率、耐久性、精度を実現しています。このような機能には、ウェーハキャリアを迅速かつ正確に変更するための自動ウェーハ交換メカニズム、および簡単な操作とエッチングと組立プロセスの最適化のためのユーザーフレンドリーなソフトウェアパッケージが含まれます。全体的に、ALCATEL AMS 200は、高品質の薄膜マイクロストラクチャーを生成することができる高度で高精度なエッチャー/アセンブラです。このモデルは、優れた速度、高い再現性と精度、さまざまな環境での汎用性の高いアプリケーションにより、研究および産業用途に最適です。
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