中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #293757692 を販売中
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ID: 293757692
Etcher
ESC Chuck, 6"
Robot and controller
Molecular pump and controller
Butterfly valve and controller
E-Chuck voltage controller
Chamber
RF Source and bias match
Chiller
Process and transfer dry pump chamber
MFC Gases: N2, AR, O2, SF6, C4F8
T1/T2 Transformer: 110 V
RF Source generator: 3 kW
RF Bias generator: 500 W
PC
Monitor
Keyboard
Transformer: 380-208 AC, 3 Phase.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200は、マグネトロンアシスト反応イオンエッチング（RIE）の技術に基づいた機器統合エッチャーです。窒化ケイ素、ポリシリコン、低k誘電体などのシリコンベース材料だけでなく、金属ターゲットの高性能エッチングを提供するように設計されています。ADIXEN AMS 200は、主にマイクロエレクトロニクス部品、MEMS部品、ナノスケール構造などの小型デバイスのエッチングに使用されます。ALCATEL AMS 200は、高性能エッチングを保証するために多くのコンポーネントを使用しています。システムの中心には、RFと磁場を利用してプラズマを生成する電子サイクロトロン共鳴（ECR）イオン源があります。イオン化されたガスは、均一なRFおよびパッシブ真空環境で囲まれたエッチングチャンバーに向けられます。エッチングチャンバーは、指向性エッチング、スルーホールエッチング、2次元エッチングなどの複数のエッチング機能を提供します。さらに、ロードロックユニットを内蔵しているため、真空を破壊することなくウェーハの積み下ろしが可能です。さらに、異なる材料のエッチング効率を最大化するために、いくつかのレシピが利用可能です。エッチングマシンの安定性は、自動ガス配送および圧力制御ツールにより、長時間にわたって維持できます。アセットにはプログラマブルタイミングとシーケンシングモデルもあり、ステップバイステップのパラメータとレシピの実行を自動化するために使用できます。最後に、異常が発生した場合に自動的にシステムをシャットダウンする効果的な安全装置が組み込まれています。全体として、PFEIFFER AMS 200エッチャーは、マイクロエレクトロニクスおよびMEMSエッチング用途に最適な信頼性の高い高性能ユニットです。RFおよびパッシブ真空環境、均一なRFおよび方向エッチング機能、統合ロードロックマシン、自動ガス配送、タイミングおよびシーケンシングツールなど、その多くの機能は、エッチング用途に最適です。
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