中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9296962 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SEは、半導体産業の先進的なエッチャー/アッシャーです。幅広いプロセス領域におけるドライエッチング用途に、統合された費用対効果の高いソリューションを提供します。ADIXEN AMS 200 SEエッチャー/アッシャーには、完全にプログラム可能なHPC （Horizontal Process Chamber）とLWST （Lateral Wafer Sets Transfer）が装備されています。HPCは、エッチング、アッシング、プリエッチング、イオン注入など、さまざまなプロセスソリューションを提供するように設計されています。チャンバーはまた、導電性および腐食性材料に対する保護を提供します。LWSTは、基板とプロセスチャンバ間のウェーハの正確で反復可能な低圧転送を提供します。ALCATEL AMS 200 SEは、レシピの柔軟性、可変温度およびガス流量、過圧制御技術、高度な安全機能など、さまざまなプロセス制御機能も提供します。エッチャー/アッシャーにはRFプラズマ源も装備されており、エッチングまたはアッシングプロセス中に基板全体に繰り返し均一なプラズマを提供することができます。プラズマの均一性は、優れたプロセス制御と精度を提供します。さらに、PFEIFFER AMS 200 SEは排出ガスを管理するための専用のアバテメントシステムを備えています。このシステムは、純粋なプロセスガス出力を確保するための一連のろ過ステップに基づいています。AMS 200 SEは、半導体、電子、医療、自動車など、複数の産業で基板をエッチングおよびアッシングするための高速、信頼性、再現性の高い代替手段を提供します。高度な安全機能により、ユーザーを保護し、プロセスの再現性と品質を確保し、コスト効率を最大化します。