中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9262896 を販売中

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ID: 9262896
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2004
Etcher, 6" Process: Deep etcher Chuck type: ESC Exhaust heater EPD ALCATEL AHT 1600-M Turbo pump Gases: SF6: 1000 sccm, unit UFC-8101 C4F8: 400 sccm, unit UFC-8101 O2: 200 sccm, unit UFC-8101 Ar: 1000 sccm, unit UFC-8101 2004 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SEは、マイクロエレクトロニクス業界におけるエッチング操作に信頼性の高いソリューションを提供するために設計された汎用性と費用対効果の高いエッチング装置です。人間工学的に設計された設計を特徴とするこのシステムは、さまざまなユーザーニーズに適しています。ADIXEN AMS 200 SEは、複数の構成オプションを提供する完全に自動化されたエッチングマシンで、ユーザーは正確な要件に合わせてエッチングプロセスを調整できます。このツールには、ソフトウェア開発キット(SDK)、安全モニター、安全シャッターなど、さまざまなサポートコンポーネントが含まれています。エッチャーアセットには、ウェハハンドリングロボットモデルも組み込まれており、最も困難な状況でも高速で正確で正確なウェハローディングとアンロードを提供します。ALCATEL AMS 200 SEは、乾燥、不活性、オイル、低温システムなど、複数の真空オプションを提供します。また、ダイヤフラム、ターボ、ターボ分子、低温、オイルフリーポンプなどの真空ポンプの範囲が含まれています。また、この装置にはCxプログラマーも搭載されており、ユーザーは簡単にエッチングシステムをプログラムして構成することができます。PFEIFFER AMS 200 SEは、最適な結果を保証するために高度な機能と機能の配列で設計されています。このユニットは、さまざまな設定や機能に簡単にアクセスできる統合されたグラフィカルユーザーインターフェイス(UI)を提供しています。制御装置は、エッチングプロセスの進捗状況の更新に加えて、ウェハローディングとアンロードを管理および監視するように設計されています。また、チャンバおよび部品の温度、圧力、およびオペレータのパフォーマンスに関するリアルタイムのフィードバックを提供するさまざまなセンサシステムも含まれています。AMS 200 SEには、業界の安全ベストプラクティスと基準に従って動作するようにするための高度な安全機能があります。これらの機能には、さまざまな安全アラーム、安全シャッター、緊急停止が含まれます。さらに、このツールには、製品の自動検証、WPC (Waste Prevention Control)プロセス検証、生涯校正も含まれています。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SEは、革新的で信頼性の高いデバイスエッチング資産です。このモデルは、信頼性、柔軟性、コスト効率を提供し、正確で信頼できる結果を提供するように設計されています。その機能とコンポーネントの範囲は、半導体やマイクロエレクトロニクスエッチングのアプリケーションの広い範囲に最適です。
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