中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9251507 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SEは、研究開発と製造の両方の半導体アプリケーションの高速高精度処理を実行するように設計されたエッチャー/アッシャープロセス装置です。低温性プラズマエッチャーで、大型真空チャンバー、プラズマ源、陽極酸化ウェハチャック、基板ホルダーで構成されています。ADIXEN AMS 200 SEは、標準および特殊な半導体アプリケーションを高精度および信頼性で処理するように設計されています。ALCATEL AMS 200 SEは、-70°Cの低温に達することができるウエハチャックを搭載しています。これにより、プラズマ処理が正確かつ均質な温度で行われることが保証されます。また、ウェハチャックは、レチクルの必要性を減らし、チャックの寿命を延ばすことで、所有コストを削減するように設計されています。基板ホルダーには自動フロアローダーが装備されており、基板の迅速かつ簡単なローディングを可能にします。PFEIFFER AMS 200 SEには、基板温度とパワーレベルを正確に制御するための高度なマルチゾーンACCコントローラとイオンゲージも装備されています。AMS 200 SEは、エッチング中の熱汚染の発生を最小限に抑えるために、低温エッチングプロセスで動作します。また、エッチングプロセスが最大限の効率と精度で行われることを保証するために、高度なプラズマソース制御が装備されています。精密エッチングマスク、厚い窒化物ブランケットウエハ基板、高度なスマートセンサ技術により、高精度を実現しています。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SEは、スパッタウェーハから非酸化基板まで、さまざまな基板タイプや材料を処理できるため、高い柔軟性と汎用性を提供します。エッチプロセスは、6軸ビームスキャン、プログラマブル、カーブフィッティング機能を備え、さまざまなエッチプロファイル制御に最適化できます。また、ウェーハの均一かつ反復可能なエッチングのための低エッチングレートのタイムサイクルを備えています。最後に、ADIXEN AMS 200 SEは、EMIフィルタ、温度コントローラ、デジタルコントローラ、マルチゾーンチャンバーセキュリティシステムなどの高度な安全装置で高いレベルの安全性を提供します。これらの安全装置は、プロセスの信頼性と精度を高め、最終製品の高品質が最小レベルのリスクで達成されるようにします。ALCATEL AMS 200 SEは、信頼性が高く、正確で安全なエッチャー/アッシャープロセス機器をお探しのお客様に最適です。