中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A601E #9301828 を販売中
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ID: 9301828
ウェーハサイズ: 8"
Etcher, 8"
Gasses: Ar, CF4, O2, C4F8, SF6
Pump 1: ALCATEL ADP 122P
Pump 2: ALCATEL ACP 20
Chiller: LAUDA PK8 CP.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601Eエッチャーは、ウェーハ表面に金属や他の材料の薄層を堆積させるために設計された信頼性の高い正確なドライエッチング装置です。ADIXEN A601Eは、エッチング処理のために調整することができる変数の広い範囲を持つ汎用性の高いシステムです。ALCATEL A601Eは、高出力の電子ビームを使用して、働くガス、エッチング材料、ウェハの表面のイオン化を作成します。このユニットは、高度な光学手法を使用してエッチング領域をスキャンし、ビームのパラメータを調整して、最高のエッチング精度を提供します。エッチングされている材料は、エッチング領域から掃除され、次の蒸着のためにウェーハが準備されます。PFEIFFERのA601E機械はアルミニウム、銅、タングステン、チタンおよび金および他の材料をエッチングすることができます。また、エッチング深度の広い範囲を提供することができ、エッチング工程を調整して表面品質を向上させることができます。アセットは、ウェーハ表面の不完全さを除去するためにも使用できます。A601Eモデルはユーザーフレンドリーなインターフェイスで設計されており、ユーザーは簡単にエッチパラメータを設定できます。ユーザーはまた、リアルタイムでプロセスを監視したり、それに応じてパラメータを調整するために使用することができ、コンピュータインターフェイスを介して機器のすべてのパラメータにアクセスすることができます。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601Eシステムは効率的で信頼性が高く、ウェーハ表面に薄い層を迅速かつ正確に堆積させることができます。単位は商業および産業適用のために非常に適しています。この機械は、他のエッチャーよりも高い精度と再現性を提供することもできます。このツールはランニングコストも低く、メンテナンスも簡単です。
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