中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 602 #293608208 を販売中

ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 602
ID: 293608208
Deep silicon etcher.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602エッチャー/アッシャーは、敏感基板の精密エッチングとアッシングのための高精度で信頼性の高い機器です。このデバイスは、厚さ4。5cmまでの基板を処理し、正確なエッチングとアッシングを保証するための正確な速度制御システムを備え、エッチングとアッシングに優れた性能を提供します。ADIXEN 602は、基板加工領域全体にわたって高温均一性を備えており、基板エッチングやアッシングに効果的なツールです。また、使用中の基板への不必要な損傷を防止する保護安全機能を備えており、エッチングまたはアッシング時に完全な制御と信頼性の高い性能を提供します。ALCATEL 602は、ドライエッチングやドライアッシングなどのプロセスに使用でき、試料調製や薄膜成膜などのプロセスの精度を高めます。また、制御された一貫性のあるエッチングを実現するための正確な温度制御と、基板タイプとサイズの柔軟性も可能です。さらに、602は、再現可能な結果を保証するための質量流量または圧力制御付きの統合マスフローコントローラと、さらなる精度のための調整可能な圧力弁を提供します。また、エッチングプロセスを監視するための石英エッチングウィンドウ、プログラマブルなPCベースの制御システムを備えており、シンプルで効率的な操作が可能です。PFEIFFER 602エッチャー/アッシャーは、堅牢なステンレス鋼構造を備えているため、腐食や衝撃に耐性があります。また、UL、 CE、 CSA用にテストおよび認定されたすべての内部コンポーネントと安全機能を備えた安全な操作のために設計されています。さらに、ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602は、必要に応じてクリーニング用の取り外し可能なアクセスパネルと取り外し可能なコンポーネントを備えた簡単なメンテナンスのために設計されています。また、エッチングおよびアッシングプロセスを完全にサポートする真空システムを備えており、完全な保証に裏打ちされており、信頼性の高い使用とパフォーマンスを保証します。
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