中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #9260027 を販売中

ID: 9260027
Deep Reactive Ion Etcher (DRIE).
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601Eは、高いスループット、再現性、精度を必要とするアプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。それは真空の部屋、暖房室、コントロールパネル、ポンプおよびセンサーが付いている統合された装置です。エッチャー/アッシャーは信頼性が高く堅牢で、産業用途に最適です。ADIXEN 601Eに0。25から5リットルの容量の真空の部屋があります。エッチャー/アッシャーのトリガー時にすべての圧力設定ポイントとプロセス条件を監視する自動セルフチューニング保護システム(STP)が装備されています。これにより、プロセスの再現性と精度が保証されます。チャンバーは1000°Cまでの温度に加熱され、壁にはハードポリテトラフルオロエチレンがコーティングされており、攻撃的な物質から保護されています。ALCATEL 601Eはユーザーが時間、温度、圧力、流量、混合物の構成および他の変数をプログラムすることを可能にするコントロールパネルが装備されています。これにより、チャンバーの温度を個々の用途に合わせて正確に調整できます。また、コントロールパネルを使用すると、互換性のあるインターフェースを備えたPCまたはデバイスからエッチャー/アッシャーをリモートで監視および制御できます。エッチャー/アッシャーには、1つのターボ分子ポンプ、1つの液体ポンプ、1つの液体リングポンプを含む多数のポンプも含まれています。これらのポンプは、異なるプロセスガスが所望の速度と圧力で流され続けることを保証します。ポンプは高い信頼性を持ち、長期にわたって信頼できる性能を提供します。エッチャー/アッシャーには、圧力、温度、真空、ガス組成、および電流用のセンサーが搭載されています。これらのセンサーにより、エッチャー/アッシャーはチャンバー内のプロセス条件を正確に監視および制御できます。センサーを使用して、異常な状態が発生した場合にユニットをシャットダウンすることもできます。PFEIFFER 601Eは、正確なプロセス条件と再現性を必要とする産業用途に最適な、信頼性の高い堅牢なエッチャー/アッシャーです。統合された機械、自動化された工具制御、豊富なセンサーにより、正確で再現性の高い結果が得られます。
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