中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 220 #9008383 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 220は、半導体製造に使用される処理装置の一種であるエッチャー/アッシャーです。半導体デバイスを作成するために、材料の薄い層を基板に堆積するために利用されています。ADIXEN 220は、25°Cから250°Cまでの温度で動作可能な垂直シングルウェーハエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、低圧プラズマを利用して材料を基板に堆積およびエッチングします。加工面積は直径200mmまでの基板に対応可能です。エッチャー/アッシャーは完全に自動化された装置を備えており、プロセスを優れた制御を提供します。ALCATEL 220は、密閉され、バイポーライオン源を備えたステンレス製のチャンバーを備えています。プロセスは窒素ガスの連続的な流れで実行され、高精度のエッチングと蒸着が可能です。プロセスパラメータはプログラム可能で、プロセスを最適に制御できます。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンディスプレイは、エッチャー/アッシャーを実行するために必要なすべてのパラメータに簡単にアクセスできます。Etcher/Asherは、水冷システムとガス冷却ユニットの両方を備えており、チャンバーと基板の優れた冷却を提供し、反復可能で熱安定性を実現します。さらに、蒸着プロセスによって生成される二酸化ケイ素の層は、過熱によりエッチャー/アッシャーが損傷しないようにします。エッチャー/アッシャーには、チャンバーのパージ、高温安全インターロック、緊急停止システムなど、一連の安全機能が装備されています。これらは、エッチャー/アッシャーが適切に動作し、基板が損傷から適切に保護されていることを確認します。220は結果の高精度そして再現性を提供する非常に信頼できるエッチャー/アッシャー機械です。半導体製造に不可欠なツールであり、幅広い基板の製造・試験に活用できます。エッチャー/アッシャーは優れた費用対効果を提供し、生産と研究開発の両方に適していることを保証します。