中古 ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000 #9299602 を販売中

ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000は、幅広いアプリケーションで最大限のシステム柔軟性とパフォーマンスを提供するように設計された高度なモジュラーエッチャーおよびアッシャー装置です。このユニットは、エッチング、アッシング、フィルム露出、およびその他のアプリケーションのための高精度、モジュラー、マルチプロセスサポートを備えています。AMS 2000のモジュール設計は、最適化された効率的で構成可能なマシンを提供し、必要に応じてツールの機能を簡単に拡張できます。このアセットには、標準のデュアルレーン、マルチモードエッチャー、モジュラーベースユニット、およびオプションの拡張チャンバが含まれており、モデルの容量を最大408ウェハまで増やすことができます。高精度エッチャーモジュールは、高精度で欠陥の少ない薄膜の精密エッチングを提供し、ユーザーは再現性と精度を達成し、維持することができます。エッチャーモジュールは、プロセスの中断を最小限に抑え、重要なコンポーネントの寿命を延ばすために、予測と予防のメンテナンスを備えています。高度なモジュラーアッシャーモジュールは、優れたプロセス精度と再現性を提供し、最新の技術を使用してポストファブリケーションウェハをエッチングおよびクリーン化します。このチャンバーは、ガス噴射管を備えたデュアルノズル設計により、ウェーハの到達困難な領域の正確なエッチングと洗浄を実現しています。アッシャーはプロセス診断機能を提供し、ユーザーはエッチングプロセスを監視および分析してプロセスパラメータと要件を確実に満たすことができます。オプションのフィルム露光モジュールは、光源技術を使用して、さまざまなサイズのポジティブ、ネガティブ、クリティカルなフィルムを正確かつ正確に露出します。露出モジュールは、正確さと再現性を確保しながら、スループットを向上させるように設計されています。ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000でサポートされる最大ウェハサイズは8インチで、インターフェイスおよび制御機器はWindowsオペレーティングシステムを使用して直感的で使いやすい操作を実現しています。このユニットは、デュアルレーン処理を使用してスループットを最大化し、サイクルタイムを短縮し、最大の生産効率と品質を確保します。モジュール設計と高度な機能を備えたAMS 2000エッチャー/アッシャーは、さまざまな半導体製造アプリケーションに最適なソリューションです。