中古 ADIXEN AMS 100 I-speeder #293817770 を販売中
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ID: 293817770
ヴィンテージ: 2004
Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etcher (ICP-RIE) system
Process performance:
Etch rates (≈25 % pattern load):
Bosch deep silicon etching: 5–6 µm/min
Smooth & shallow fast‑switching Bosch process: ~1 µm/min
Silica / quartz RIE etching: ~350 nm/min
O₂ chamber cleaning
O₂ photoresist stripping
O₂ residue (“descum”) etch
Bosch conditioning processes
Used for deep silicon etching
Gas lines:
SF₆: max. 1000 sccm
C₄F₈ (high-flow): max. 400 sccm
C₄F₈ (low-flow): max. 100 sccm
O₂: max. 200 sccm
He (backside cooling): max. 200 sccm
CH₄ (separate gas cabinet): max. 100 sccm
Wafer clamping:
Water cooled and non-cooled version, 4"
Water cooled version, 8"
He backside cooling system
ATH 1600 M Turbo pump
(2) A300 Roughing pumps
VAT PM-6 Pendulum valve
DRESSLER Cesar 1330 RF generator
Frequency: 13.56 MHz
Max. output power: Up to 3 kW
Output voltage: 400 V
DRESSLER Cesar 133 RF generator
Frequency: 13,56 MHz
Max. output power: 300 W
ADVANCED ENERGY LF5 DC generator
Frequency: 50 to 460 kHz in 100 Hz steps
Max. output power: 500 W
Temperature range: -30°C to +60°C
2004 vintage.
ADIXEN AMS 100 I-speederは、基板の精密かつ効率的な処理のための高度な技術を搭載した最先端のエッチャー/アッシャー装置です。真空技術ソリューションのリーディングメーカーであるADIXENによって開発されたAMS 100 I-speederは、高性能表面処理装置を必要とする半導体製造、研究室などの業界の要求に応えるように設計されています。ADIXEN AMS 100 I-speederはコンパクトで堅牢な設計で、動作中の安定性を確保しながらスペース使用率を最大化します。高性能な真空チャンバーを搭載し、精密なエッチングとアッシングプロセスに不可欠な制御環境を維持します。チャンバーは、耐久性と長期的な性能を確保するために、高品質の材料から構築されています。AMS 100 I-speederの重要なポイントの1つは、高度なプラズマエッチングとプラズマアッシング機能です。このユニットは、基板の制御と均一な処理を可能にする高度なプラズマ生成技術を利用しています。基板表面から材料を精密に除去する技術で、半導体製造などのエッチングや洗浄用途に最適です。ADIXEN AMS 100 Iスピーダーは、ユーザーが特定の要件を満たすためにエッチングとアッシングプロセスを調整することができます汎用性の高いプロセス制御マシンが装備されています。このツールは、ガス流量、プラズマ電力、プロセス時間など、目的の結果を得るために調整できるさまざまなパラメータを提供します。さらに、この資産には、プロセスの安定性と再現性を保証するリアルタイムのモニタリングおよびフィードバックメカニズムが備わっています。生産性と効率の面では、AMS 100 I-speederは印象的なパフォーマンスレベルを提供します。幅広い基板サイズ・材料の加工が可能で、様々な用途に対応した汎用性の高いソリューションとなっています。高速処理機能により、迅速な納期を実現し、全体的なスループットを向上させ、処理コストを削減します。さらに、ADIXEN AMS 100 I-speederは、操作とメンテナンスを容易にするユーザーフレンドリーな機能を備えています。この機器には直感的な制御インターフェースが装備されており、オペレータはプロセスパラメータを簡単に監視および調整できます。さらに、オペレータの保護を確保し、運転中の事故のリスクを最小限に抑えるための安全機能を搭載しています。AMS 100 I-speederもサステナビリティを念頭に置いて設計されています。このユニットは、エネルギー消費と廃棄物の発生を最小限に抑えるように設計されており、より環境に優しい運用に貢献しています。効率的な設計と最適化されたプロセスパラメータにより、ユーザーの全体的なカーボンフットプリントと運用コストを削減できます。全体として、ADIXEN AMS 100 I-speederは、先進技術、精密性能、ユーザーフレンドリーな機能を組み合わせた最先端のエッチャー/アッシャーマシンとして際立っています。半導体製造、研究室、または他の産業で使用されるかどうか、このツールは、表面処理アプリケーションのための信頼性の高い効率的なソリューションを提供します。その汎用性、生産性、持続可能性の特徴は、高性能な表面処理装置を求める組織にとって貴重な財産です。
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