中古 ULVAC UNECS-FP-1850 #9314578 を販売中

ULVAC UNECS-FP-1850
製造業者
ULVAC
モデル
UNECS-FP-1850
ID: 9314578
ヴィンテージ: 2013
Spectral ellipsometer 2013 vintage.
ULVAC UNECS-FP-1850は、薄膜の厚さと光学定数を測定するために設計された楕円計です。半導体製造、ハードディスクドライブ、太陽電池、タッチパネルなどの分野で1nmから32µmまでのフィルムや材料を分析するための汎用性の高い高精度機器です。自動化された測定システムは、1mmから13mmまでの幅広いサンプルサイズを提供します。このユニットにはインシデントレーザー光源が含まれており、単色およびコリメートビームの光を提供します。その後、インシデントビームは偏光器の組み合わせで変調され、顕微鏡を介してサンプル領域に焦点を合わせます。サンプル層を通過した後、ビームはCCDカメラに送信され、サンプル層の干渉による楕円測定パラメータの変化を測定するために使用されます。自動化されたサンプルローディングステーションにより、さまざまなサンプルサイズの取り扱いが簡素化され、スループットが向上します。このツールには、インシデンスアセットロックの角度とインシデントクエンチの角度が含まれており、複数のインシデント角度でサンプルを分析する際の堅牢なパフォーマンスを提供します。モデルのRMS精度は0。00003ラジアンまで低下し、高いレベルの測定整合性を提供します。装置と提供される高度なソフトウェアは容易なデータ処理およびデータ分析を可能にします。視覚的なデータ表示は相互リボンインターフェイスを含んでいます。ユーザーは、動的に表示される(楕円測定)データの種類を選択できます。ソフトウェアには、Thickness VSなどのさまざまな分析ツールも含まれています。時間、スペクトル分析、屈折率、および拡張値の表。このシステムは、広い温度範囲で標準化された結果を保証する信頼性の高い安定したユニットで設計されています。これは、温度制御された光学素子と圧力シールを使用することによって達成されます。データ入力を簡素化する直感的なタッチパネルにより、操作がさらに簡素化されます。要するに、UNECS-FP-1850には、薄膜および光学測定用の独自の強力で信頼性の高い楕円計になる多くの機能があります。半導体製造、ハードディスクドライブ、太陽電池、タッチパネルの分野で幅広いサンプルを迅速かつ正確に測定するための汎用性と便利なマシンを提供しています。高度なソフトウェアと自動化された測定ツールにより、簡単で効率的で正確なサンプル測定が可能です。
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