中古 SOPRA GESP-5 #9384906 を販売中

SOPRA GESP-5は、薄膜光学特性の測定における精度と精度のために設計された、自動化された光機械式スキャンエリプソメータです。この装置には、チューニング可能なレーザー、フォーカスおよびスキャン光学系、および光検出器が装備されています。数ナノメートルから数マイクロメートルの厚さまで幅広い波長の膜の光学特性を測定することができます。GESP-5システムは容易なサンプル交換およびロボット処理を可能にするように設計されています。サンプルの容易なローディングおよび荷を下すことのための位置の回転のサンプルホールダーを含んでいます。サンプル表面の最適な光学アライメントのための電動Z軸も含まれています。いろいろなサンプル段階は異なったサンプルタイプのために利用できます；温められたサンプルテーブルは温度調整された測定のためにまた利用できます。SOPRA GESP-5にはさまざまな測定モードがあります。P偏光とS偏光の両方を測定できます。また、測定中に精密な偏光制御を可能にするために、自動電動偏光回転子と光学システムが含まれています。このデバイスは、波長と発生角度の機能として、光学パラメータの反射率、透過率、および吸収性を測定することができます。GESP-5は特許取得済みのSOPRAオートスキャンソフトウェアパッケージを使用しており、幅広いインシデント角度でフィルムパラメータを自動測定できます。ソフトウェアには、サンプル位置、バックグラウンドスキャンなどの調整可能なパラメータが含まれており、サンプル表面から画像をキャプチャすることができます。このデバイスは、研究環境と生産環境の両方で使用するように設計されています。安定した正確な光学設計により、現場での測定に特に適しており、濡れた状態と乾燥した状態の両方で測定を行うことができます。この装置はまた、現在の半導体産業の要件を満たしており、薄膜光学特性の静的および動的スキャン測定を可能にします。全体的に、SOPRA GESP-5プラットフォームは、薄膜光学特性の正確で信頼性の高い再現性の測定を提供します。堅牢な設計、幅広い機能、汎用性の高いソフトウェアにより、薄膜光学材料の特性評価における研究および生産のための優れたツールです。