中古 SOPRA GESP-5 #293793402 を販売中

SOPRA GESP-5は、薄膜材料の厚さを測定し、表面の光学特性を測定するために設計された楕円計です。フランスのSOPRA Mesure社が製造した高精度機器です。表面から反射または透過した光の偏光状態の変化を測定し、厚さや屈折率などの材料の誘電パラメータを測定します。これは通常、幅広い蒸着速度で薄膜の成長またはエッチング過程を監視するために使用されます。GESP-5は、シングルチップCMOS検出器と最先端の光学システムを備えており、サブアングストロームとナノメートルの精度を提供します。デジタルロックインアンプと高度なスパイラルスキャン技術を搭載しており、高精度で超薄層の測定が可能です。このシステムは、20層までの単層または積層の測定のための高精度データを提供することができます。このシステムには4インチアジャスタブルサンプルホルダーが装備されており、ほとんどの標準ウェーハキャリアとの互換性を考慮して設計されています。UHVトランスポートシステムを使用して、さまざまな圧力および温度下での表面のelctro光学解析を行うことができます。SOPRA GESP-5は、自動化されたソフトウェアスイートと統合されており、正確で繰り返し可能な楕円測定を提供し、水平および垂直偏光比、絶対膜厚、屈折率、および誘電機能を監視できます。また、位相シフト、方位角アベレージング、混合測定モード（反射率-伝送）などのデータ解析機能も備えています。器械は適用範囲が広く、使いやすいように設計されています。太陽電池、光学コーティング、半導体、有機材料、その他の薄膜研究など、さまざまな用途に使用できます。その耐久性の高い構造は、低メンテナンスのニーズで信頼性の高い操作を保証します。