中古 SOPRA GES-5E #9299487 を販売中

製造業者
SOPRA
モデル
GES-5E
ID: 9299487
ウェーハサイズ: 6"
Ellipsometer, 6" Type: Manual.
SOPRA GES-5Eは、サンプルと相互作用した後の光の偏光の変化を測定する楕円計です。薄膜の光学特性を測定するために設計されており、厚さ5アングストローム、屈折率0。01%の精度で、薄膜成膜、フィルム成長、欠陥解析、汚染モニタリング、フィルム応力測定など、材料科学および試験におけるさまざまな用途に使用できます。GES-5Eは円偏光可能なレーザー源と偏光と波長の両方に敏感な検出器を備えており、測定を迅速かつ正確に行うことができます。このデバイスは、x、 y、 z方向の正確なスキャン動作を可能にするナノ位置決めシステムに搭載されており、迅速なデータ収集のためにコンピュータ制御することができます。SOPRA GES-5Eは、サンプルからデータを収集するためにスペクトルドメインと空間ドメインテクニックの両方を利用します。スペクトルドメイン楕円測定は、その光学定数や薄膜光学パラメータなどのサンプルのスペクトル特性を測定するために使用され、空間ドメイン楕円測定はその形態と組成に関する情報を取得します。両方の技術を展開することにより、GES-5Eはサンプルの光学特性の詳細な特性を提供します。SOPRA GES-5Eは、収集したデータを操作し、データ分析を実行するための高度なソフトウェアも備えています。このソフトウェアは、あらゆる種類のサードパーティ製データの処理を可能にする強力なインポート機能、サーフェスモデルをシミュレートする機能、データをプロットするためのインタラクティブグラフ、比較とモデリングのためのライブラリスペクトルスキャンの生成など、いくつかの高度なツールを提供します。GES-5Eは非常に多目的で、実験室、生産ライン、研究施設、または教育の設定のようなさまざまな環境で、使用することができます。その高精度、汎用性、可搬性により、薄膜特性評価に最適です。
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