中古 SOPRA GES-5E #9254945 を販売中
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ID: 9254945
ウェーハサイズ: 4"-5"
ヴィンテージ: 2011
Ellipsometer, 4"-5"
Used for LED defect
2011 vintage.
SOPRA GES-5Eは、薄膜の光学的および/または電気的特性を測定するために設計された高度な楕円計です。屈折率、絶滅係数、反射率などの薄膜厚や光学特性を測定できるコンパクトな装置です。GES-5Eは、入射光分極の機能として楕円測定パラメータの角度変動を測定することができる分光楕円計に基づいています。検出器を搭載しており、試料から反射または透過した偏光を同時に測定することができます。測定された値は、屈折率や厚さなどの目的のパラメータを生成するために処理されます。このデバイスには、楕円計とそのコンポーネントを完全に制御できるユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイス（GUI）が含まれています。正確な結果を保証するために、自動化されたアライメントプロシージャとキャリブレーションプロセスを備えています。さらに、同じパラメータを使用して、石英、ガラス、ITO、ポリマーなどの異なる材料を測定することができます。SOPRA GES-5Eは、コンタクトフリー測定用のファイバープローブ、ファイバーフィルター、ミニチュアレンズ、モーター付き2D測定ステージなど、さまざまなオプションのアクセサリと互換性があります。自動化された薄膜測定には、付属のソフトウェアで使用できる圧力サーボ駆動システムが装備されています。GES-5Eは、サンプルホルダー/圧力サーボドライブシステムの自動制御を提供し、複数のサンプルからの迅速なデータ収集を可能にします。また、可視および近赤外線（NIR）範囲での自動分光測定も可能です。最後に、このデバイスには、ユーザーが直感的なグラフィカルフォーマットで結果を分析して提示できるリアルタイムのカラーソフトウェアパッケージが装備されています。ソフトウェアには、曲線、輪郭プロット、3D-surfaceプロットなどの幅広いデータプレゼンテーションを生成する機能が含まれています。また、包括的なデータフィッティング機能も備えています。これにより、SOPRA GES-5Eは、研究および産業環境における薄膜特性の決定に理想的な機器となります。
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