中古 SENTECH Senduro 300 #293644159 を販売中

SENTECH Senduro 300
製造業者
SENTECH
モデル
Senduro 300
ID: 293644159
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2008
Ellipsometer, 8" 2008 vintage.
SENTECH Senduro 300は、薄膜計測用の最先端の楕円計です。それは卓越した正確さおよび精密の層の厚さ、構成、密度および他の物質的な変数を測定するように設計されています。このデバイスは、複数の高度な光学原理を利用して、スペクトルの赤外線および可視範囲のサンプルの偏光状態を測定します。Senduro 300の光学構成には、高精度の圧電ゴニオメーターと干渉偏光計の両方が含まれています。ゴニオメータは、サンプルを正確に回転させ、外部楕円測定パラメータの角度依存解析を提供するために使用されます。調査中の材料に応じて適切な発生角度が選択され、屈折率、絶滅係数、および複雑な誘電関数などの光学定数を導出するために2角度偏光計が使用されます。SENTECH Senduro 300は、非常に高い精度を実現することができ、高速で非接触測定によってさらに特徴付けられます。サンプル位置は、統合された手動ステージと内蔵の電動ステージを使用して調整されます。後者にはコントローラとレーザーポインターが装備されており、サンプル表面の正確なアライメントが可能です。Senduro 300は、優れた精度と測定速度を提供するだけでなく、いくつかの高度なソフトウェア機能を備えています。たとえば、楕円計には自動温度制御と温度補償システムが含まれており、広い温度範囲で一貫した結果が得られます。さらに、SENTECH Senduro 300には、洗練された多層解析ツールとさまざまなレポート画像、グラフィカルな表現が組み込まれています。先進的な光学系、精密可動ステージ、強力なソフトウェアにより、Senduro 300は薄膜材料にとって非常に貴重な特性評価ツールです。これにより、層の厚さ、組成、密度、およびその他のさまざまなパラメータの高精度で再現性の高い測定が可能になります。これにより、半導体・光学デバイス製造における品質保証のための貴重な機器となります。
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