中古 RUDOLPH S3000S #293778028 を販売中
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ID: 293778028
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
Film thickness measurement system, 12"
2011 vintage.
RUDOLPH S3000Sは、幅広い産業および研究用途において、高品質で正確な薄膜構造の測定用に設計された先進エリプソメータです。この装置は、サンプルの光反射および屈折特性を単一の波長または複数の波長で測定し、さらに精度を高めることができます。RUDOLPH S 3000 Sは、正確かつ一貫した結果を保証する自動光学アライメント機能を備えています。デュアル波長モノクロメータを搭載し、190〜850nmの広い波長範囲の薄膜の光学特性を測定することができます。また、コンピューター制御の調整可能な測定グリッドを備えており、オペレータはサンプルを正確に配置し、各波長の楕円測定パラメータを配置することができます。さらに、S3000Sに容易な操作のための色のタッチ画面LCDの表示があります。装置には、偏光アクセサリ、サンプルステージ、データ収集システムなど、その範囲と精度を高めるさまざまなアクセサリーが装備されています。これらのアクセサリーを使用すると、単層、複数層、誘電スタック、金属膜などの幅広い薄膜構造にわたって正確な測定を行うことができます。S 3000 Sは操作が簡単で、セットアップ時間が最小限に抑えられます。このユニットには、データ分析用の包括的なユーザーマニュアルとインタラクティブソフトウェアが付属しています。さらに、このマシンは高速なデータ転送時間を持ち、ユーザーはさらに分析するためにさまざまな形式のデータをダウンロードすることができます。全体的に、RUDOLPH S3000Sは、薄膜構造の高精度測定用に設計された先進的で汎用性の高い楕円計です。この機器には、精密かつ一貫した結果を得るための高度な光学および自動光学アライメントが含まれており、精度と範囲を向上させるためのさまざまなアクセサリが装備されています。このツールは操作が簡単で、セットアップ時間が最小限で、データ分析のための包括的なユーザーマニュアルとソフトウェアが含まれています。
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