中古 RUDOLPH S3000A #9389601 を販売中

RUDOLPH S3000Aエリプソメータは、薄膜の厚さ、光学定数、応力を測定するために使用される、自動化されたコンピューター制御の光学機器です。また、フィルムの屈折率の計算にも使用できます。RUDOLPH S 3000楕円計は、ガラス、金属、セラミック、または他の表面上の有機および無機膜などの多数の基板からサンプルを測定することができます。S3000Aは、試料表面から反射した光の偏光変化を測定する分光楕円測定法を採用しています。分光楕円計は、広帯域光源とグレーティングモノクロメータを使用して、可視光から赤外線まで幅広い波長を測定します。S 3000 Aはまた、インシデントと反射光の信号を測定するために可視回転補償器を使用しています。可視回転子は、入射楕円偏光をサンプル表面に適用し、反射光の偏光の変化を測定します。コンペンセータは、回転角度を監視する角度エンコーダによって制御され、（環境の変化または温度の変動によって引き起こされる）エラーを補償します。RUDOLPH S3000Aは、層の厚さ、光学定数、応力、光学異方性（傾きと方位角）、屈折率など、いくつかのパラメータを測定できます。マッピング調査を行うシステムを備えており、複数のポイントを同時に測定して分析することができます。RUDOLPH S 3000 Aは、50ナノメートルの微小なサンプルから、さまざまなサンプルサイズを測定することもできます。S3000Aはまた、幅広いWindowsオペレーティングシステムと互換性のある直感的なユーザーインターフェイスを利用しています。このユーザーインターフェイスには、測定設定、データ取得、データ分析のユーザーを支援するオンラインヘルプシステムが含まれています。さらに、100を超える薄膜モデルのライブラリを備えているため、サンプルデータを簡単に分析することができます。全体として、S 3000 Aエリプソメータは、フィルム厚、光学定数、応力、屈折率の正確な測定をユーザーに提供する、自動化されたコンピューター制御機器です。直感的なユーザーインターフェイスと複数のサンプルポイントを同時に測定できるため、薄膜の研究に興味のある人に最適です。