中古 RUDOLPH S3000A #9270887 を販売中

RUDOLPH S3000A
製造業者
RUDOLPH
モデル
S3000A
ID: 9270887
Thickness measurement system.
RUDOLPH S3000Aは、さまざまな基板上の表面薄膜特性と表面形態を測定するために設計された先進的な楕円計です。この装置の先進的な光学およびメカニクスにより、幅広いアプリケーションで正確で自動化された測定が可能になります。RUDOLPH S 3000 Aには、偏光検出用の4チャンネル測定ヘッドが装備されており、4つの異なる角度からの同時測定を可能にし、X、 Y、 Z、およびシータ機能を提供する自動サンプルステージを備えています。このシステムは、厚さ、光学定数、傾斜誤差、および全体的な膜厚および化学組成など、薄膜のさまざまな光学的および物理的パラメータを検出することができます。S3000Aは、デュアルビームモノクロメータと偏光ビームスプリッタを使用して、光学特性と膜厚の両方を高精度に調べることができます。測定ヘッドに3つの同期モータを使用することにより、最大4つの角度の非常に精密で再現性の高いパネルシーケンスを実現し、測定精度と再現性の点で最高の精度を提供します。半導体ウェーハ、ITO、ポリマーフィルムなどの光学複合材料をはじめとする幅広い基板に容易に対応できる軽量で堅牢な設計となっています。S 3000 Aは、複数の高度なソフトウェアパッケージとも互換性があり、ユーザーはマシンを制御し、任意の遠隔地からデータをリアルタイムで分析することができます。直感的なソフトウェアは、ユーザーに測定結果の明確なグラフィカル表現を提供し、必要に応じて迅速な解釈とエラー分析を可能にします。オプションのコンピュータ支援設計プログラムを使用して楕円計データセットを分析し、屈折率、絶滅係数、吸収係数、膜厚の絶対値を正確に計算することができます。先進的な光学設計とメカニクスにより、RUDOLPH S3000Aは、薄膜特性と表面形態の非常に正確で再現性の高い測定を幅広い用途に提供します。ツールの非常に効率的な設計は、リアルタイム分析機能と頑丈な構造と相まって、RUDOLPH S 3000 Aは、任意の研究室や工場の床のための理想的な選択肢になります。
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