中古 RUDOLPH S3000A #9244823 を販売中

RUDOLPH S3000A
製造業者
RUDOLPH
モデル
S3000A
ID: 9244823
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
Ellipsometer, 12" 2011 vintage.
RUDOLPH S3000Aは、薄膜特性評価および材料分析用に設計された高性能エリプソメータです。エリプソメトリー(Ellipsometry)は、屈折率、絶滅係数、吸収係数などの膜厚や光学定数を測定する非破壊光学技術です。サンプルに向けた偏光変調レーザービームを採用し、検出器に反射します。フィルムの組成や厚さによって、反射光の相対強度が変化します。光の偏光を変えることで、フィルムの特性を決定することができます。RUDOLPH S 3000楕円計には、405nm、 633nm、 785nm、 1064nmの4波長のレーザー光を使用したフィルム特性評価と材料研究用の統合偏光計が含まれています。レーザー光と追加の変調光を組み合わせることで、より高い精度と測定機能を実現します。S3000Aはまた、TE(横電気)とTM(横磁気)の両方の円偏光の測定を可能にするユニークな線形偏光器と円偏光器の構成も含まれています。これにより、双方向性、位相遅延、屈折率(n)や絶滅係数(k)などの光学定数など、すべてのフィルム光学特性を測定することができます。S 3000 Aには、サンプルの挙動を分析および理解し、確立されたモデルまたは標準と比較するために、データポイントの収集を自動化する自動データ収集モジュールも含まれています。自動データ収集システムはまた、データ収集が繰り返し可能で迅速かつ正確な結果を得ることを可能にします。さらに、RUDOLPH S3000Aの特別なコンピュータオペレーションスペクトロスコーピックエリプソメーター(COSE)設計は、単一の装置内でより高い制御を可能にします。COSEは、広範囲の入射角度(10度から90度)にわたる完全な検出器スキャンが可能です。これにより、複数のサンプルポイントをマッピングして精度を高めることができます。RUDOLPH S 3000 Aは、精密な線形ステージにより、幅広いサンプルサイズの高精度な測定も可能です。S3000Aは、高解像度光学部品やマイクロチップから化学・化粧品コーティングまで、さまざまな用途で使用される材料や薄膜の研究開発に最適です。正確な分析と特性評価を可能にし、信頼性と再現性の高い結果をもたらします。
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