中古 RUDOLPH FOCUS FE III #9188629 を販売中

RUDOLPH FOCUS FE IIIは、RUDOLPH Technologiesによって製造された楕円計です。薄膜の厚さや屈折率や絶滅係数などの光学定数を測定する高精度デバイスです。試料からの偏光反射と楕円測定を組み合わせて、これらの材料をより正確に測定および分析します。FOCUS FE IIIエリプソメーターは、偏光反射と楕円測定を組み合わせた高精度測定機器です。このデバイスには、光源、光変調器、サンプルステージ、偏光コントローラ、および光学および電子検出器が含まれます。偏光ビームは光源によって生成され、回転する半波プレートによって変調されます。光はサンプルから反射され、検出器によって検出され、偏光コントローラによって分析されます。薄膜を分析する際には、偏光よりも多くの情報を提供できるため、偏光が使用されます。サンプルステージは、サンプルを配置してマウントするために使用されます。ここでは赤外線ビームとレーザーセンサーを使用して、サンプル位置を検出し、それに応じて光路を調整します。これにより、RUDOLPH FOCUS FE IIIは、発生角度と偏光変調を正確に測定できます。偏光コントローラは、光ビームの偏光をフィルタ、調整、測定する光学デバイスです。これは、反射光の偏光状態を測定するために4分波プレートと分析器を使用しています。光学および電子検出器は、サンプルが偏光に与える影響を測定します。この情報は、装置の光学的部分によって、膜厚、屈折率、絶滅係数などの測定値を決定するために使用されます。全体的に、FOCUS FE IIIは、屈折率や絶滅係数などの薄膜厚や光学定数を測定するために使用される高精度で正確なデバイスです。偏光反射と楕円測定の組み合わせにより、優れた精度で迅速かつ正確に薄膜を測定することができます。