中古 RUDOLPH FE VII #9097169 を販売中

RUDOLPH FE VIIは、薄膜の光学特性を評価するための効果的で費用対効果の高いソリューションを提供する楕円計です。従来の楕円計測システムとは異なり、RUDOLPH FEVIIは複数の光成分を必要としないため、光学計測へのより簡単で簡単なアプローチを提供します。また、精密な光学設計と機械設計により、誤差が0。05°未満の優れた精度を提供します。これにより、膜厚モニタリング、屈折率の決定、誘電機能、表面反応率の測定などの用途に最適です。FE-VIIは、干渉光源とエリアビームスプリッタを内蔵した単元分光楕円計です。干渉光源により、スペクトル角度と強度の両方を測定でき、高精度で再現性の高い測定が可能です。一方、エリアビームスプリッタは、s-とp-偏光の両方の光場を測定することができます。これは、偏光維持ビームスプリッタと調整可能なアナライザの組み合わせによって可能になります。RUDOLPH FE-VIIは、REFLEX OMS解析および準光学モジュールも備えています。REFLEX OMSモジュールを使用すると、光学的異方性材料、不均一な層、埋め込みインターフェイスなどの多層薄膜システムに関する情報を取得できます。一方、Quasi-Opticsモジュールは、3Dナノ構造などの計測分野に有用な近距離オーブン測定を提供します。物理的には、FE VIIはXYZ変換ステージ、サンプルアーム、コンポーネントベイ、干渉計ウィンドウで構成されています。XYZ変換ステージを使用すると、サンプルの正確な位置決めとアライメントが可能になります。コンポーネントベイには、REFLEX OMSや準光学モジュールなど、完全な測定セットアップに必要なすべての封止された機器が収納されています。最後に、干渉計ウィンドウはサンプルに直接アクセスして正確な位置合わせを行います。全体的に、FEVIIは優れた楕円計マシンであり、比較的簡単で費用対効果の高いパッケージで優れた精度と再現性を提供します。さまざまな光学特性および材料特性評価アプリケーションに使用でき、ユーザーが直面する可能性のあるプロジェクトに柔軟に取り組むことができます。