中古 RUDOLPH FE VII #293830957 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293830957
ヴィンテージ: 1999
Thickness measurement system
Process capability: 11 µm, 13 µm, 15 µm, 18 um, 25 µm, 35 µm
Light source:
HeNe laser: 632.8 nm
Laser diode: 780 nm
Spot size:
Test site: 12x24 µm
De-skew: 125 µm
Site by site: 50 µm
Pattern recognition:
Optional pattern recognition
Edge / gray scale detection
Manual / auto de-skew
Reteach
Wafer handling:
3-Axis robots
(3) cassettes: 100mm to 200mm
Pre-aligner:
Virtual flat / notch finder
X, Y Centering: ±50 μm
Theta: ±0.1°
De-skew: ±5 μm
Stage:
Accuracy: 7 μm over 200mm
Repeatability: ±1 µm
1996 vintage.
RUDOLPH FE VIIは、薄膜と積層スタックの光学特性を測定するために設計された現代の楕円計です。薄膜特性評価、生産制御、太陽電池の研究、品質管理、薄膜蒸着の研究開発などに使用できる汎用性の高いツールです。RUDOLPH FEVIIは、光学ヘッドや高精度XYステージなどの高解像度イメージングシステムを搭載しています。明るいLED光源と組み合わせることで、あらゆる角度で薄膜特性を測定することができます。薄膜特性は楕円計によって収集されたデータから直接得られます。FE-VIIは、2つの異なる発生角度でサンプル表面に反射された光の強度を同時に測定するために、独自のシングルソース、デュアルディテクタ法を使用しています。この方法では、サンプルの屈折率、厚さ、光学定数を簡単に決定できます。エリプソメータは、薄膜や大面積の特性評価、太陽電池解析、ウェハレベルの光学測定など、幅広い用途に対応しています。FEVIIは、可視光から遠赤外線(NIR-NIR)波長まで、さまざまな薄膜材料に使用できます。薄膜の厚さ範囲は0〜5000nmで、解像度は0。1nmと低くなります。さらに、薄膜や積層積層の複雑な光係数の測定も可能です。FE VIIは、革新的なシングルソースのデュアルディテクタ設計に加えて、温度制御されたXYステージを備えており、温度依存の測定を可能にします。光学式セットアップは、サーマルドリフトなどの環境影響を補償し、試験片のずれの影響を最小限に抑えます。RUDOLPH FE-VIIは、高精度な生産プロセスの研究開発や薄膜層を有する光電子デバイスの品質管理と診断に最適なツールです。光学定数と薄膜特性を測定するためのユーザーフレンドリーで正確なソリューションです。
まだレビューはありません