中古 RUDOLPH FE III #9165606 を販売中

RUDOLPH FE IIIは、薄膜の厚さ、屈折率、および薄膜の他の特性を測定するように設計された、コンピュータ制御された自動光学計測器です。この楕円計は、HeNeレーザー光源を使用して構築された非破壊分析ツールで、2つの回転アナライザと検出器の組み合わせです。レーザーは、光学的に平坦な基板からの反射光の位相変化とエネルギーシフトを測定し、それが等しい振幅の2つのビームに分割されている回転補償器とアナライザを通過します。この偏光素子の組み合わせは、検出器の方向に光を反射して送信し、測定可能な楕円体信号を作成します。次に、検出器は楕円体信号を、薄膜の膜厚、屈折率、その他の特性を報告できるデータ収集システムによって記録および処理される電圧信号に変換します。データ収集システムには、記録された情報を表示するためのLCDディスプレイがあり、結果を印刷またはファイルに保存するための外部プリンタポートがあります。RUDOLPH FEIIIには、楕円計測器の自動セットアップ、操作、制御を可能にするソフトウェア駆動のユーザーインターフェイスも付属しています。ソフトウェアは、アナライザ角度、レーザー強度、レーザー波長、楕円度の角度、および望ましい情報を得るためのより多くの設定を変更するために調整することができます。測定パラメータを設定して精度を高めることもできます。このソフトウェアを使用すると、サンプル基板の複数の読み取りを取得し、データを保存、分析、および取得することができます。さらに、FE-IIIでは、さまざまな内部校正基準を利用したり、外部物質を利用することができるため、校正が効率的です。FEIIIの信頼性、柔軟性、精度、精度により、光学部品、半導体、太陽電池など、さまざまな薄膜試験アプリケーションに最適です。直感的なユーザーインターフェイス、自動化された機能、統合されたシステム設計により、FE IIIは幅広いアプリケーションに最適です。