中古 RUDOLPH FE III #9139660 を販売中

RUDOLPH FE III
製造業者
RUDOLPH
モデル
FE III
ID: 9139660
ウェーハサイズ: 6"
Dual wave auto ellipsometer, 6".
RUDOLP RUDOLPH FE IIIは、材料の厚さ、組成、光学特性を測定するために使用される高度な分光楕円計です。主に基板や表面の薄膜の光学特性を測定するために使用され、ナノメートル範囲までの最小の層の厚さでも検出することができます。RUDOLPFE IIIは、UVからIR領域まで幅広い波長で動作する、さまざまな交換可能な受信モジュールで構成されています。これは、データを明確かつ正確に表示し、記録するシンプルなグラフィカルユーザーインターフェイスによって操作されます。このデバイスは堅牢な構造と信頼性の高い性能を備えており、回転補償器を使用してサンプルの反射の偏光を測定するコンピュータ制御の光学システムを備えています。サンプルの平面内パラメータと平面外パラメータの両方を理解するための連続スキャンモード動作が可能です。RUDOLPH FEIIIには、その精度とパフォーマンスをさらに向上させるために設計されたさまざまな専門ソフトウェアツールが装備されています。ソフトウェアは、計器の構成、パラメータスキャンの設定、測定データの解釈のための直感的なインターフェイスを提供します。また、レイヤードサンプルの光学定数と光学特性の計算にも使用できます。FE-IIIには、絶対測定用のハイエンドのリファレンスセル、偏光光学素子、4要素のロングパスフィルタ、分光計モジュールを備えたユニークなアクセサリーキットが付属しています。これらのアクセサリは、デバイスの精度と性能をさらに向上させます。さらに、この機器は、内蔵のモーター式ローテータと、広角楕円測定用の光学部品の追加範囲を備えています。このシステムは、信頼性の高い測定と非常に幅広い分析機能を使用することができます。要するに、RUDOLP FEIIIは最先端の分光楕円計であり、高速で正確で信頼性の高い測定データを提供し、ナノメートル範囲までの最小の層の厚さを検出することができます。柔軟な設計と正確なソフトウェア機能により、さまざまな業界のさまざまなアプリケーションに最適です。
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