中古 RUDOLPH EL III #9131119 を販売中
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ID: 9131119
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1979
Ellipsometer, 6"
Laser source: HeNe 632.8nm
1979 vintage.
RUDOLPH EL IIIは、光学薄膜測定のための最先端の楕円計です。先端半導体デバイス、光学ディスプレイ、その他の光電子部品の製造に見られるような光学薄膜層の測定および分析に使用されます。楕円測定は、精密光源と写真検出器を使用して、薄膜と相互作用した後の光の偏光の変化を測定します。EL IIIは、ハイエンド偏光反射計の高度な測定機能と楕円計の強力な制御および分析ソフトウェアを組み合わせて、比類のない精度と精度を研究者やエンジニアに提供します。RUDOLPH EL IIIは、光源の波長と偏光角度を正確に調整して薄膜の最適サンプリングを行う高度な自動測定システムを備えています。この強力なシステムはまた、計器ドリフトを効果的に排除し、さまざまなサンプルにわたって精度を確保するための校正モジュールを提供します。EL IIIはまた、温度と湿度制御を含むさまざまな環境スキャン機能を提供しており、スタンドアロン測定に最適です。RUDOLPH EL IIIは、顕著な測定機能に加えて、さまざまな強力な解析オプションを提供します。最新のWindows互換ソフトウェアは、収集されたデータにさまざまな高度なアルゴリズムを適用してサンプルデータを解釈し、光学定数、屈折率、吸収係数、膜厚などのさまざまな有用なパラメータを生成します。さらに、Ellipsometry Standards Committee (ESC)規格と比較するために、データをテキストまたはグラフィックス形式で直接出力することができます。最後に、EL IIIはユーザーを念頭に置いて設計されており、薄膜の測定をできるだけ簡単に行うことができます。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、RUDOLPH EL IIIのセットアップと操作が簡単になり、便利なウィザードとチュートリアルが選択されているため、新しいユーザーでも楽器の操作をすばやく学ぶことができます。EL IIIには、半自動サンプルステージやリファレンスサンプルホルダーなど、さまざまな有用なアクセサリーが付属しており、光学薄膜の測定と分析をさらに簡単かつ成功させることができます。
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